[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法有效
申请号: | 201910797726.5 | 申请日: | 2019-08-27 |
公开(公告)号: | CN110534585B | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 李源;赵云;张为苍;眭斌;张文进;杨亮 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人: | 姚远方 |
地址: | 516600 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 及其 制作方法 | ||
1.一种太阳能电池,其特征在于,包括:透明基板和子电池,子电池覆盖至透明基板的表面;两个相邻的子电池之间具有结分割区,在透明基板位于结分割区的位置具有覆盖整个结分割区的结分割区衬底层;和在子电池内具有正、负极分割区,在透明基板位于正、负极分割区的位置具有覆盖整个正、负极分割区的正、负极分割区衬底层;
子电池包括透明前电极、PIN层、背电极、前电极辅助电极绝缘层和前电极辅助电极;透明前电极覆盖于透明基板的表面,PIN层覆盖于透明前电极的表面,背电极覆盖于PIN层的表面,前电极辅助电极绝缘层覆盖于背电极的表面并且穿过背电极和PIN层凹陷至透明前电极,前电极辅助电极覆盖于前电极辅助电极绝缘层的表面并且与透明前电极接触;
结分割区衬底层和正、负极分割区衬底层为覆盖在前电极辅助电极的表面的遮蔽层,并且遮蔽层还填充至两个相邻子电池之间的结分割区内;
正、负极分割区衬底层为绝缘补色层,绝缘补色层包括绝缘层和位于子电池负极区域的黑化金属层;绝缘层覆盖整个正、负极分割区的上层;子电池负极区域的黑化金属层位于绝缘层和负极区域的背电极下方,以及子电池负极区域的黑化金属层位于负极区域的前电极的辅助电极的上方;
在子电池的正极区域的透明前电极与前电极辅助电极之间设置黑化金属层。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,位于透明基板的部分位置的透明前电极、PIN层、背电极、前电极辅助电极绝缘层和前电极辅助电极依次层叠,以通过前电极辅助电极与透明前电极接触形成子电池的正极;位于透明基板另一部分位置的透明前电极、PIN层、背电极、前电极的辅助电极依次层叠,以通过前电极的辅助电极与背电极接触形成子电池的负极;在正极和负极之间形成正、负极分割区。
3.一种太阳能电池的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
在透明基板上光刻分割区衬底层;
向透明基板光刻有分割区衬底层的一面依次制作透明前电极、PIN层、背电极、前电极辅助电极绝缘层、前电极辅助电极和保护层,以制作子电池,并且相邻的两个子电池之间具被有分割区衬底层覆盖的结分割区,和子电池内的正、负极之间具有被分割区衬底层覆盖的正、负极分割区;
制作子电池具体包括如下子步骤:
向透明基板光刻有分割区衬底层的一面制作透明前电极,并且相邻的两个子电池的透明前电极在结分割区衬底层处分割开,和一个子电池的透明前电极在该子电池的正、负极分割区衬底层处分割开;
在透明前电极的表面制作PIN层,并且相邻的两个子电池的PIN层边缘分别与结分割区衬底层的一个边缘重叠,和一个子电池的PIN层在该子电池的正、负极分割区衬底层处分割开;
在PIN层的表面制作背电极,并且相邻的两个子电池的背电极在与结分割区衬底层相对的位置分割开,和一个子电池的背电极在该子电池的正、负极分割区衬底层处分割开;
在背电极的表面制作穿过背电极和PIN层凹陷至透明前电极的前电极辅助电极绝缘层;
在前电极辅助电极绝缘层的表面制作与透明前电极接触的前电极辅助电极,将一个子电池位于正极区域的前电极辅助电极和位于负极区域的前电极辅助电极分割开;
在前电极辅助电极的表面覆盖保护层;
在保护层的上表面和下表面覆盖一层遮蔽层材料,或者直接选用遮蔽层材料作为保护层材料,以在结分割区和正、负极分割区形成分割区遮蔽层;
绝缘层的材料为绝缘的有机或无机材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的