[发明专利]三维铁电NOR型存储器在审
申请号: | 201910800177.2 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN110970446A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | D·H·莫里斯;U·E·阿维奇;I·A·扬 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L27/1159 | 分类号: | H01L27/1159;H01L27/11592;H01L27/11597 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 林金朝 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 三维 nor 存储器 | ||
1.一种系统,包括:
衬底;
第一字线、第二字线和第三字线;
第一层、第二层和第三层,其中,所述第一层位于所述衬底和所述第一字线之间,所述第二层位于所述第一字线和所述第二字线之间,并且所述第三层位于所述第二字线和所述第三字线之间;
材料的第一部分、第二部分和第三部分,其中,所述材料的第一部分位于所述第一字线和所述第一层之间,所述材料的第二部分位于所述第二字线和所述第二层之间,并且所述材料的第三部分位于所述第三字线和所述第三层之间;
所述材料的第一部分、第二部分和第三部分上的单片半导体层;
位线,具有长轴和短轴;
其中,所述第一层包括金属,所述第二层包括所述金属,所述第三层包括所述金属;
其中,所述材料包括氧,以及铪、硅、钇、锆、钡、钛、铅或其组合中的至少一种;
其中,(a)平行于所述短轴的第一平面与所述第一层、所述半导体层和所述位线相交;(b)平行于所述短轴的第二平面与所述第二层、所述半导体层和所述位线相交;(c)平行于所述短轴的第三平面与所述第三层、所述半导体层和所述位线相交。
2.根据权利要求1所述的系统,包括NOR逻辑门,其中:
所述NOR逻辑门包括所述材料的第一部分、第二部分和第三部分;并且
所述NOR逻辑门包括所述半导体层。
3.根据权利要求1-2中的任一项所述的系统,包括:
第一轴,其平行于所述长轴,所述第一轴与所述第一字线、所述第二字线和所述第三字线以及所述材料的第一部分、第二部分和第三部分相交;
第二轴,其平行于所述长轴,所述第二轴与所述第一层、所述第二层和所述第三层相交;
其中,所述第一轴不与所述第一层、所述第二层或所述第三层中的任何一个相交。
4.根据权利要求3所述的系统,其中,所述第二轴与所述第一字线、所述第二字线和所述第三字线以及所述材料的第一部分、第二部分和第三部分相交。
5.根据权利要求4所述的系统,其中,所述第一轴与所述半导体层相交。
6.根据权利要求4所述的系统,包括开关器件,其中:
所述开关器件包括源极、沟道和漏极;
所述源极包括所述半导体层;
所述沟道包括所述半导体层;
所述漏极包括所述半导体层;
栅极,其对应于所述沟道,所述栅极包括所述第一字线的一部分;
源极触点,其对应于所述源极,所述源极触点包括所述第一层的一部分;
漏极触点,其对应于所述漏极,所述漏极触点包括所述位线的一部分。
7.根据权利要求6所述的系统,包括另外的开关器件,其中:
所述另外的开关器件包括另外的源极、另外的沟道和另外的漏极;
所述另外的源极包括所述半导体层;
所述另外的沟道包括所述半导体层;
所述另外的漏极包括所述半导体层;
另外的栅极,其对应于所述另外的沟道,所述另外的栅极包括所述第二字线的一部分;
另外的源极触点,其对应于所述另外的源极,所述另外的源极触点包括所述第二层的一部分;
另外的漏极触点,其对应于所述另外的漏极,所述另外的漏极触点包括所述位线的另外部分;
其中,所述第一轴与所述开关器件和所述另外的开关器件相交;
其中,所述开关器件和所述另外的开关器件彼此并联耦合到所述位线。
8.根据权利要求6所述的系统,包括第一存储器单元和第二存储器单元,其中:
所述第一存储器单元包括所述开关器件;
所述第二存储器单元不包括所述开关器件;
所述第一存储器单元和所述第二存储器单元包括在随机存取存储器(RAM)中;
能够独立于所述第二存储器单元寻址所述第一存储器单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的