[发明专利]三维铁电NOR型存储器在审

专利信息
申请号: 201910800177.2 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN110970446A 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: D·H·莫里斯;U·E·阿维奇;I·A·扬 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L27/1159 分类号: H01L27/1159;H01L27/11592;H01L27/11597
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 林金朝
地址: 美国加*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 三维 nor 存储器
【权利要求书】:

1.一种系统,包括:

衬底;

第一字线、第二字线和第三字线;

第一层、第二层和第三层,其中,所述第一层位于所述衬底和所述第一字线之间,所述第二层位于所述第一字线和所述第二字线之间,并且所述第三层位于所述第二字线和所述第三字线之间;

材料的第一部分、第二部分和第三部分,其中,所述材料的第一部分位于所述第一字线和所述第一层之间,所述材料的第二部分位于所述第二字线和所述第二层之间,并且所述材料的第三部分位于所述第三字线和所述第三层之间;

所述材料的第一部分、第二部分和第三部分上的单片半导体层;

位线,具有长轴和短轴;

其中,所述第一层包括金属,所述第二层包括所述金属,所述第三层包括所述金属;

其中,所述材料包括氧,以及铪、硅、钇、锆、钡、钛、铅或其组合中的至少一种;

其中,(a)平行于所述短轴的第一平面与所述第一层、所述半导体层和所述位线相交;(b)平行于所述短轴的第二平面与所述第二层、所述半导体层和所述位线相交;(c)平行于所述短轴的第三平面与所述第三层、所述半导体层和所述位线相交。

2.根据权利要求1所述的系统,包括NOR逻辑门,其中:

所述NOR逻辑门包括所述材料的第一部分、第二部分和第三部分;并且

所述NOR逻辑门包括所述半导体层。

3.根据权利要求1-2中的任一项所述的系统,包括:

第一轴,其平行于所述长轴,所述第一轴与所述第一字线、所述第二字线和所述第三字线以及所述材料的第一部分、第二部分和第三部分相交;

第二轴,其平行于所述长轴,所述第二轴与所述第一层、所述第二层和所述第三层相交;

其中,所述第一轴不与所述第一层、所述第二层或所述第三层中的任何一个相交。

4.根据权利要求3所述的系统,其中,所述第二轴与所述第一字线、所述第二字线和所述第三字线以及所述材料的第一部分、第二部分和第三部分相交。

5.根据权利要求4所述的系统,其中,所述第一轴与所述半导体层相交。

6.根据权利要求4所述的系统,包括开关器件,其中:

所述开关器件包括源极、沟道和漏极;

所述源极包括所述半导体层;

所述沟道包括所述半导体层;

所述漏极包括所述半导体层;

栅极,其对应于所述沟道,所述栅极包括所述第一字线的一部分;

源极触点,其对应于所述源极,所述源极触点包括所述第一层的一部分;

漏极触点,其对应于所述漏极,所述漏极触点包括所述位线的一部分。

7.根据权利要求6所述的系统,包括另外的开关器件,其中:

所述另外的开关器件包括另外的源极、另外的沟道和另外的漏极;

所述另外的源极包括所述半导体层;

所述另外的沟道包括所述半导体层;

所述另外的漏极包括所述半导体层;

另外的栅极,其对应于所述另外的沟道,所述另外的栅极包括所述第二字线的一部分;

另外的源极触点,其对应于所述另外的源极,所述另外的源极触点包括所述第二层的一部分;

另外的漏极触点,其对应于所述另外的漏极,所述另外的漏极触点包括所述位线的另外部分;

其中,所述第一轴与所述开关器件和所述另外的开关器件相交;

其中,所述开关器件和所述另外的开关器件彼此并联耦合到所述位线。

8.根据权利要求6所述的系统,包括第一存储器单元和第二存储器单元,其中:

所述第一存储器单元包括所述开关器件;

所述第二存储器单元不包括所述开关器件;

所述第一存储器单元和所述第二存储器单元包括在随机存取存储器(RAM)中;

能够独立于所述第二存储器单元寻址所述第一存储器单元。

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