[发明专利]一种单晶炉用可变径导流筒在审
申请号: | 201910802104.7 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN110438559A | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 孟涛;王海庆;姚亮 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 石艳红 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒锥形圆台 拉制 热屏 搭接 导流筒 石墨环 上环 碳碳 一体设置 单晶炉 可变径 上热屏 下热屏 内胆 外胆 保温材料 从上至下 贴合接触 一致性好 搭接部 晶体的 底端 卡接 竖向 申请 | ||
1.一种单晶炉用可变径导流筒,其特征在于:包括热屏外胆、热屏内胆和保温材料,保温材料填充在热屏外胆和热屏内胆之间;
热屏外胆的材质为碳碳材料,包括一体设置的上热屏和下热屏;上热屏竖向设置,顶端具有横向法兰,下热屏的截面呈弧形,下热屏的底端设置有搭接台;搭接台的最小内径大于待拉制的最大晶体尺寸;
热屏内胆包括碳碳上环和石墨环;
碳碳上环采用碳碳材料制成,且为空心的倒锥形圆台,其顶部外缘设置有水平的法兰盘,且法兰盘搭接在横向法兰上;碳碳上环的长度不小于上热屏的竖向长度;
石墨环采用石墨材料制成,包括从上至下依次一体设置的空心的倒锥形圆台一和空心的倒锥形圆台二;倒锥形圆台一顶端与碳碳上环底端相贴合接触或卡接;倒锥形圆台二底部设置有搭接部,该搭接部搭接放置在下热屏的搭接台上;通过更换不同规格型号的石墨环,使得倒锥形圆台二的最小内径与待拉制的晶体尺寸相对应。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用可变径导流筒,其特征在于:搭接台和搭接部的截面均呈弧形或锥形。
3.根据权利要求1所述的单晶炉用可变径导流筒,其特征在于:对于不同规格型号的石墨环,倒锥形圆台一的锥形母线的倾角保持不变,倒锥形圆台一的厚度保持不变,通过改变倒锥形圆台二的厚度以及倒锥形圆台二中锥形母线与竖直线之间的夹角大小,调整倒锥形圆台二的最小内径尺寸。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用可变径导流筒,其特征在于:倒锥形圆台一的锥形母线与竖直线之间的夹角大于碳碳上环中锥形母线与竖直线之间的夹角。
5.根据权利要求1所述的单晶炉用可变径导流筒,其特征在于:倒锥形圆台二的最小内径尺寸范围为8-11寸。
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