[发明专利]一种金刚石散热片的制备方法在审
申请号: | 201910803697.9 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN110496962A | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 刘云飞;刘红伟;位星;刘丹 | 申请(专利权)人: | 郑州中南杰特超硬材料有限公司 |
主分类号: | B22F3/02 | 分类号: | B22F3/02;B22F5/00;B22F7/04;B22F1/02;C23C14/18;C23C14/34;C22C26/00 |
代理公司: | 11797 北京专赢专利代理有限公司 | 代理人: | 于刚<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 450001 河南省郑州*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石粉末 合金块 胚模 表面镀覆 真空溅射 顶压 镀覆 碳槽 碳模 电子元件散热 高温高压工艺 金刚石散热片 电子原件 使用寿命 金刚石 抛光 镀铬膜 镀铜膜 放入 碳纸 压实 制备 装入 取出 制作 应用 | ||
1.一种金刚石散热片的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:
步骤一,选择一定粒度范围的金刚石粉末;
步骤二,将金刚石粉末进行真空溅射镀铬膜,得到表面镀覆有铬的金刚石粉末;
步骤三,将表面镀覆有铬的金刚石粉末进行真空溅射镀铜膜,得到镀覆铬和铜后的金刚石粉末;
步骤四,制作碳槽模(1);
步骤五,将镀覆后的金刚石粉末装入碳槽模(1)中并且压实,得到碳模;
步骤六,将多个碳模放在两个碳纸(3)之间形成一个合金块,将该合金块放入胚模(2)中,将胚模(2)进行高温高压工艺顶压;
步骤七,将顶压后的胚模(2)砸开取出合金块,将合金块抛光即得到成品。
2.根据权利要求1所述的金刚石散热片的制备方法,其特征在于,所述步骤一中金刚石粉末的粒度为80-200目。
3.根据权利要求1所述的金刚石散热片的制备方法,其特征在于,所述步骤二和步骤三中均采用真空溅射镀膜机进行真空溅射。
4.根据权利要求1或3所述的金刚石散热片的制备方法,其特征在于,所述步骤二中真空溅射的功率为3.6-4.5KW,真空溅射的时间为60-85分钟,步骤三中真空溅射的功率为6.5-7.2KW,真空溅射的时间为10-13小时。
5.根据权利要求1所述的金刚石散热片的制备方法,其特征在于,所述碳槽模(1)为圆形并且碳槽模(1)的内部设置有方形槽。
6.根据权利要求5所述的金刚石散热片的制备方法,其特征在于,所述碳槽模(1)的外圆直径为35-40mm,方形槽的长度为8mm,方形槽的宽度为5mm,方形槽的厚度为6mm。
7.根据权利要求1所述的金刚石散热片的制备方法,其特征在于,所述步骤六中在压力为65-80MPa、加热功率为5.5-6.8KW和保压时间为5-8分钟的六面顶压机中进行顶压。
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