[发明专利]一种机台压力监控系统

说明书

本发明实施例公开了一种机台压力监控系统，所述系统包括：具有第一数量的机台，所述机台为常压机台，所述第一数量大于3；具有第二数量的压力感应器，所述第二数量大于等于3且小于所述第一数量；在所述机台中具有被选择的第二数量的机台，所述第二数量的压力感应器分别设置在所述被选择的第二数量的机台上；数据采集装置，用于按照预设规则对所述压力感应器上的压力数据进行采集，得到第一数据；数据显示装置，用于显示第二数据；所述第二数据是基于所述第一数据生成的，所述第二数据用于表征所述具有第一数量的机台的压力状况。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机台压力监控系统。

背景技术

常压机台在半导体制造技术中有着普遍的应用，例如在形成器件的栅氧化层时，就需要用到常压炉管。现在的常压机台的压力是与大气压连通的，但是由于大气压在一年四季会有很大的差异，导致常压机台内的压力产生变化，从而影响制程工艺，因此，需要压力感应器对常压机台的压力进行侦测。

在一间制造车间(Fabrication，FAB)(或称洁净室)的炉管区往往有很多常压机台，部分机台配有压力感应器，可以直接侦测机台内的压力情况。机台是否配置压力感应器往往与采购的机台类型有关，有些机台配置的压力感应器作为军工用品交期时间长、价格昂贵，在常压机台上大量的安装使用存在浪费；压力感应器需要接受机台控制，只有在机台工作时才能记录到机台内压力并进行存储，给工程师分析工作带来不便；压力感应器校准之后示数容易出现漂移，导致记录的数据混乱，影响工艺判断。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种机台压力监控系统。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

本发明实施例提供了一种机台压力监控系统，所述系统包括：

具有第一数量的机台，所述机台为常压机台，所述第一数量大于3；

具有第二数量的压力感应器，所述第二数量大于等于3且小于所述第一数量；

在所述机台中具有被选择的第二数量的机台，所述第二数量的压力感应器分别设置在所述被选择的第二数量的机台上；

数据采集装置，用于按照预设规则对所述压力感应器上的压力数据进行采集，得到第一数据；

数据显示装置，用于显示第二数据；所述第二数据是基于所述第一数据生成的，所述第二数据用于表征所述具有第一数量的机台的压力状况。

上述方案中，所述压力感应器为真空规管。

上述方案中，所述第二数量等于3。

上述方案中，所述数据采集装置按照预设规则对所述压力感应器上的压力数据进行采集，包括：在设置有所述压力感应器的所述机台关闭的时间段内，所述数据采集装置按照预设规则对所述压力感应器上的压力数据进行采集。

上述方案中，所述数据采集装置上具有计时模块，所述计时模块用于按照所述预设规则触发所述数据采集装置对所述压力感应器上的压力数据进行采集。

上述方案中，所述数据采集装置上具有数据管理模块，所述数据管理模块用于基于所述第一数据生成所述第二数据。

上述方案中，所述基于所述第一数据生成所述第二数据，包括：对所述第一数据内的各数据进行筛选，去除不满足第一预设阈值范围的数据；对筛选后的剩余数据求取中位值，将所述中位值作为上述第二数据。

上述方案中，所述系统还包括：

机台控制装置，用于当所述第二数据不满足第二预设阈值范围时，对所述具有第一数量的机台进行卡控。