[发明专利]一种生物传感器及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种生物传感器，其特征在于，包括底板和芯片，所述芯片为设置在该底板上的两个并联单元和金属层，所述金属层设置在两个并联单元之间；每个并联单元包括平面状的螺旋形电感和锤状电容，所述螺旋形电感的中间具有空白区域，所述锤状电容内嵌在所述空白区域中；所述锤状电容上引出两条导线，其中一条导线用于接地，另一条导线与所述金属层连接，从而实现两个并联单元之间的并联连接，所述锤状电容是指一个方形电容及其两侧连接的导线形成的形似“锤子”的结构；电容是由两个相互靠近的导体，中间夹一层绝缘介质形成的，当这两个相互靠近的导体各连接一根导线时，导线与导体垂直或者具有一定的夹角，就会形成形似“锤子”的结构；

底板包括衬底和SU-8高聚物钝化层，所述钝化层在传感器的检测区域形成预设厚度和预设面积的开口，以此形成设定空间溶剂的凹槽；其制备方法包括如下步骤：

（1）用等离子体增强化学气相沉积的方法在清洁后衬底表面生长一层氮化镓衬底，以增加金属与衬底之间的粘附性；

（2）配合光刻工艺在衬底上设定的区域用磁控溅射的方法生长下层金属，随后除去光刻胶，此时衬底上的下层金属已生长完成；

（3）利用光刻工艺在未生长下层金属的地方沉积设定高度的光刻胶，并且通过再次高温加热的形式使光刻胶重新塑造形状，构建空气桥墩结构用以支撑步骤（6）中螺旋形电感的上层金属；

（4）利用磁控溅射的方法在整个衬底表面形成一层金属种子层；

（5）利用光刻工艺在不需要生长上层金属的区域沉积光刻胶；

（6）利用磁控溅射的方法沉积上层金属，至此由电容和螺旋形电感加工完成，其中电容是由上下两层金属直接连接而成，电感是由具有空气桥墩结构构成，在不需要跳线的地方上下两层金属直接相连；

（7）在上层金属表面悬涂SU-8光刻胶，控制悬涂转速形成设定厚度的薄膜；

（8）依托光刻技术在器件的检测区域按照定量测量要求光刻掉设定面积的SU-8光刻胶；

（9）将步骤（8）得到的器件置于反应离子刻蚀系统中，利用氯气与氩气的混合气体对器件进行干法刻蚀处理，即得。

2.如权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述金属层的材质包括：贵金属或铜。

3.如权利要求2所述的生物传感器，其特征在于，所述贵金属为金、银、铂中的任意一种。