[发明专利]具有截止环结构的功率半导体器件及其制作方法

说明书

本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种具有截止环结构的功率半导体器件，包括半导体基板，元胞区位于半导体基板的中心区，终端保护区位于元胞区的外圈且环绕元胞区设置；位于终端保护区的第二导电类型体区内环绕第二类沟槽的外围设置有截止环结构；截止环结构包括第三类沟槽、第四类沟槽和截止环金属，第三类沟槽和第四类沟槽的沟槽底部均伸入第一导电类型外延层内，截止环金属位于第三类沟槽和第四类沟槽的上方，且截止环金属能够通过第四类沟槽伸入第一导电类型外延层内。本发明还公开了一种具有截止环结构的功率半导体器件的制作方法。本发明提供的具有截止环结构的功率半导体器能够提高功率半导体器件的截止能力，阻止器件漏电。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种具有截止环结构的功率半导体器件及具有截止环结构的功率半导体器件的制作方法。

背景技术

如图1所示，为传统沟槽MOSFET结构的结构示意图。如图1所示，沟槽MOSFET结构包括元胞区和终端保护区，所述元胞区位于器件的中心区，在终端保护区内设置有截止环结构。图1所示的截止环由第三类沟槽13构成，以N型器件为例，所述第三类沟槽13位于P型体区的表面被绝缘介质层覆盖，沟槽底部进入N型外延层中，并且环绕第二类沟槽5。第三类沟槽13上方的绝缘介质层中设有通孔，该通孔从绝缘介质层的表面进入导电多晶硅内，在第三类沟槽13远离元胞区的一侧设有通孔，该通孔从绝缘介质层的表面进入P型体区内。在第三类沟槽的上方设有截止环金属12，截止环金属12填充满第三类沟槽13与其远离元胞区的一侧的通孔。在实际生产过程中，当沟槽深度变浅时，器件耐压时出现了严重的漏电现象，经过仿真验证，如图2所示，为传统沟槽MOSFET结构耐压时的电势分布图，在器件耐压时，截止环并没有将电场完全截止，因此导致了器件的漏电，经过研究发现在传统沟槽MOSFET内的第三类沟槽13远离元胞区一侧的通孔内的截止环金属12由于与P型体区接触，因此无法使第三类沟槽13内的导电多晶硅带上漏极电位，实际上第三类沟槽13内的导电多晶硅的电位一直比漏极电位低。

发明内容

本发明提供了一种具有截止环结构的功率半导体器件及具有截止环结构的功率半导体器件的制作方法，解决相关技术中存在的沟槽的漏电问题。

作为本发明的一个方面，提供一种具有截止环结构的功率半导体器件，包括半导体基板，所述半导体基板被划分为元胞区和终端保护区，所述元胞区位于所述半导体基板的中心区，所述终端保护区位于所述元胞区的外圈且环绕所述元胞区设置，其中，所述半导体基板包括第一导电类型衬底和位于所述第一导电类型衬底上的第一导电类型外延层，所述第一导电类型外延层的表面设置有第二导电类型体区；

位于所述元胞区的所述第二导电类型体区内设置有第一类沟槽，所述第一类沟槽的沟槽底部伸入所述第一类导电类型外延层内；

位于所述终端保护区的所述第二导电类型体区内靠近所述元胞区的位置设置有至少一根第二类沟槽；

位于所述终端保护区的所述第二导电类型体区内环绕所述第二类沟槽的外围设置有截止环结构；

所述截止环结构包括第三类沟槽、第四类沟槽和截止环金属，所述第三类沟槽和所述第四类沟槽的沟槽底部均伸入所述第一导电类型外延层内，所述第三类沟槽位于所述终端保护区靠近所述元胞区的一侧，且环绕所述第二类沟槽设置，所述第四类沟槽位于所述终端保护区远离所述元胞区的一侧，且位于所述第二类沟槽的拐角位置，所述截止环金属位于所述第三类沟槽和所述第四类沟槽的上方，且所述截止环金属能够通过所述第四类沟槽伸入所述第一导电类型外延层内。