[发明专利]一种减反射膜结构及PERC电池

说明书

本发明公开了一种减反射膜结构及PERC电池，能够进一步降低正面钝化介质膜层的反射率，同时进一步提升对表面的钝化效果。一种减反射膜结构，包括依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层；所述第一减反射层用于形成在硅基体上，所述第一减反射层为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF₂膜层或由AlOx膜层和MgF₂膜层层叠形成的叠层结构；所述第二减反射层为SiNx膜层、SiC膜层或TiOx膜层，或为由选自SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层中的至少两种层叠形成的叠层结构；所述第三减反射层为SiOxCy膜层或为由SiOxCy膜层和SiOxNy膜层层叠形成的叠层结构。

技术领域

本发明属于晶硅太阳能电池领域，涉及一种减反射膜结构、该减反射膜的制备方法及采用该减反射膜的PERC电池。

背景技术

PERC太阳能电池作为目前光伏市场最主流的产品，由于其背面氧化铝提供优异的钝化效果使得电池具有高效率高功率在市场上具备强的竞争力。正面采用选择性发射极结构可进一步提升PERC电池在短波段的光谱响应，同时通过高方阻扩散降低非掺杂区域的复合，提升电池钝化性效果，提升开压。

目前产业化太阳能电池正面减反射膜主要以SiNx膜为主，通过工艺优化目前的SiNx 膜可以降低对入射光的反射，目前最优的SiNx膜层结构反射率可做到3～5％。

发明内容

本发明提供一种减反射膜结构及PERC电池，能够进一步降低正面钝化介质膜层的反射率，同时进一步提升对表面的钝化效果。

为达到上述目的，本发明采用的一种技术方案如下：

一种减反射膜结构，包括依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层；所述第一减反射层用于形成在硅基体上，所述第一减反射层为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF₂膜层或由AlOx膜层和MgF₂膜层层叠形成的叠层结构；所述第二减反射层为SiNx膜层、SiC膜层或TiOx膜层，或为由选自SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层中的至少两种层叠形成的叠层结构；所述第三减反射层为SiOxCy膜层或为由SiOxCy膜层和SiOxNy膜层层叠形成的叠层结构。

优选地，所述第二减反射层为由SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层层叠形成的叠层结构。

优选地，所述第二减反射层的折射率＞所述第三减反射层的折射率＞所述第一减反射层的折射率。

更优选地，所述第一减反射层的折射率为1.4-1.5，所述第二减反射层的折射率为2.1-2.3，所述第三减反射层的折射率为1.7-1.9。

优选地，所述第一减反射层的厚度为5-10nm，所述第二减反射层的厚度为50-70nm，所述第三减反射层的厚度为10-30nm。

在一优选的实施例中，所述第一减反射层为SiOx膜层，所述第二减反射膜层为SiNx 膜层，所述第三减反射膜层为SiOxCy膜层。

在一优选的实施例中，所述第一减反射层为SiOx膜层，所述第二减反射膜层为SiNx 膜层，所述第三减反射膜层为由SiOxCy膜层和SiOxNy层叠形成的叠层结构；

在一优选的实施例中，所述第一减反射层为SiOx膜层，所述第二减反射膜层为由SiNx 膜层、SiC膜层及TiOx膜层层叠形成的叠层结构，所述第三减反射膜层为SiOxCy膜层；

在一优选的实施例中，所述第一减反射层为MgF₂膜层，所述第二减反射膜层为SiNx 膜层，所述第三减反射膜层为SiOxCy膜层。

优选地，所述第一减反射层通过SiH₄和N₂O的混合气体在等离子体条件下沉积形成。