[发明专利]MEMS传声器

权利要求书

1.一种MEMS传声器，其特征在于，包括：

基板；和

设置在所述基板上、将声音转换成电信号的第1转换部和第2转换部，

在所述第1转换部和所述第2转换部的两者所面对的盖设置有音孔，所述第1转换部和所述第2转换部将来自所述音孔的相同的声音转换成电信号，

所述第1转换部具有：

贯通所述基板的第1贯通孔；

在所述基板的一个面侧覆盖所述第1贯通孔的第1膜片；和

在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第1贯通孔，且隔着第1气隙与所述第1膜片面对面的第1背板，

所述第2转换部具有：

贯通所述基板的第2贯通孔；

在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第2贯通孔的第2膜片；和

在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第2贯通孔，且隔着第2气隙与所述第2膜片面对面的第2背板，

在所述基板的厚度方向上，所述第2气隙的尺寸大于所述第1气隙的尺寸，

所述基板是玻璃制的。

2.如权利要求1所述的MEMS传声器，其特征在于：

在所述基板的厚度方向上，所述第2气隙的尺寸为所述第1气隙的尺寸的1.1倍以上2.0倍以下。

3.如权利要求1或2所述的MEMS传声器，其特征在于：

所述第1转换部具有抑制所述第1膜片与所述第1背板的接触的接触抑制部。

4.一种MEMS传声器，其特征在于，包括：

具有贯通孔的基板；

在所述基板的一个面侧覆盖所述贯通孔的膜片；

在所述基板的一个面侧覆盖所述贯通孔、且隔着第1气隙与所述膜片面对面的第1背板；

第2背板，其相对于所述膜片设置在所述第1背板的相反侧，并且在所述基板的一个面侧覆盖所述贯通孔、且隔着第2气隙与所述膜片面对面；以及

在所述基板的一个面侧形成中空结构的盖，

所述膜片与所述第1背板构成第1转换部，所述膜片与所述第2背板构成第2转换部，所述第1转换部和所述第2转换部将来自音孔的相同的声音转换成电信号，

在所述基板的厚度方向上，所述第2气隙的尺寸大于所述第1气隙的尺寸，

所述基板是玻璃制的。

5.如权利要求4所述的MEMS传声器，其特征在于：

在所述基板的厚度方向上，所述第2气隙的尺寸为所述第1气隙的尺寸的1.1倍以上2.0倍以下。

6.如权利要求4或5所述的MEMS传声器，其特征在于：

所述第1背板具有抑制所述膜片与所述第1背板的接触的接触抑制部。