[发明专利]集成无源耦合器和方法

权利要求书

1.一种集成电路，其特征在于，包括：

半导体衬底；以及

无源耦合器，其位于所述衬底上，

其中所述耦合器包括：

螺线管；以及

信号线，其穿过所述螺线管。

2.根据权利要求1所述的集成电路，其特征在于，所述螺线管的第一端被隔离且其中所述螺线管的第二端形成所述螺线管的耦合输出。

3.根据权利要求2所述的集成电路，其特征在于，所述螺线管的所述耦合输出耦合到电力检测器。

4.根据权利要求2或权利要求3所述的集成电路，其特征在于，所述集成电路包括多个开关，其中每个开关耦合于所述螺线管的相应绕组与所述螺线管的所述耦合输出之间。

5.根据权利要求4所述的集成电路，其特征在于，所述多个开关是可断开且可闭合的，以选择耦合于所述螺线管的所述隔离的第一端与所述螺线管的所述耦合输出之间的所述螺线管的数个绕组。

6.根据权利要求4或权利要求5所述的集成电路，其特征在于，所述集成电路包括可用于选择性地断开和闭合所述多个开关的控制器。

7.根据在前的任一项权利要求所述的集成电路，其特征在于，所述集成电路包括位于所述衬底的表面上的金属化堆叠，其中所述螺线管和所述信号线由位于所述金属化堆叠的金属和通孔层中的图案化金属特征形成。

8.一种在蜂窝式电话网络中的基站，其特征在于，所述基站包括根据在前的任一项权利要求所述的集成电路。

9.一种汽车RADAR系统，其特征在于，所述汽车RADAR系统包括根据权利要求1至7中任一项权利要求所述的集成电路。

10.一种制造集成电路的方法，其特征在于，所述方法包括：

提供半导体衬底；以及

通过以下操作来在所述衬底上的金属化堆叠中形成无源耦合器：

使用所述金属化堆叠的多个金属层中的图案化金属特征形成螺线管的一个或多个绕组；以及

使用所述金属化堆叠的一个或多个金属层中的一个或多个图案化金属特征形成信号线，其中所述信号线穿过螺线管。