[发明专利]ZrO2

权利要求书

1.一种ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，所述封接方法包括以下步骤：

S1.制备玻璃坯体；

S2.对金属法兰进行预氧化；以及

S3.通过所述玻璃坯体将所述ZrO₂基氧敏感元件封接至所述金属法兰，其中，所述玻璃坯体、所述金属法兰和所述ZrO₂基氧敏感元件具有相近的热膨胀系数；

其中，步骤S2包括：在空气中，将所述金属法兰置于300℃-600℃的马弗炉中进行预氧化处理；

步骤S3包括：

S31.将所述金属法兰、玻璃坯件及ZrO₂基氧敏感元件按顺序固定放入高温气氛炉中；

S32.对所述高温气氛炉进行气密性检查；

S33.排除所述高温气氛炉中的氧气；以及

S34.对所述高温气氛炉进行加热并冷却至室温；

其中，步骤S33包括向所述高温气氛炉中通入高纯氮气。

2.根据权利要求1所述的ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，其特征在于，

步骤S1包括：按重量比分别为65％-80％的玻璃粉料、5％-10％的粘结剂、5％-10％的增塑剂、10％-15％的溶剂的配比关系进行玻璃坯体原料的混合，并对混合后的原料进行球磨处理，压制成玻璃坯体。

3.根据权利要求2所述的ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，其特征在于，

所述粘结剂包括环氧树脂，所述增塑剂包括邻苯二甲酸二甲酯，所述溶剂包括乙醇。

4.根据权利要求1所述的ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，其特征在于，

步骤S32包括对所述高温气氛炉进行抽真空处理，并检查所述高温气氛炉的气密性。

5.根据权利要求1所述的ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，其特征在于，

步骤S33还包括开启所述高温气氛炉的出气口，清洗所述高温气氛炉一定时间，关闭所述气氛炉的出气口，当所述高温气氛炉内的压强达到0.01MPa-0.03MPa时停止或减小通入氮气，并保持所述压强。

6.根据权利要求1所述的ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，其特征在于，

步骤S34包括将所述高温气氛炉加热至1020℃，并在1020℃保温20min-30min，在加热至300℃-400℃时通入氮气，打开所述高温气氛炉的出气口，保持所述高温气氛炉中的压强为0.04MPa-0.06MPa，并且在冷却至300℃-400℃时停止通入氮气，关闭所述出气口。

7.根据权利要求6所述的ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，其特征在于，

将所述高温气氛炉加热至1020℃的过程包括：

以2℃/min-5℃/min的升温速率加热至300℃；

以4℃/min-6℃/min的升温速度加热至900℃；以及

以8℃/min-10℃/min的升温速率加热至1020℃。

8.根据权利要求6所述的ZrO₂基氧敏感元件与金属法兰的封接方法，其特征在于，

步骤S34还包括将以2℃/min-5℃/min的降温速率使所述高温气氛炉的温度降至600℃，然后自然冷却至室温。