[发明专利]柔性显示基板、柔性显示面板及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 201910807932.X | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN110534666B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 李勃;纪卢芳月;张明福 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32;G09F9/30 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 方晓燕 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 及其 制备 方法 显示装置 | ||
本申请涉及一种柔性显示基板、柔性显示面板及其制备方法、显示装置。所述柔性显示面板的制备方法包括:提供支撑基底。在所述支撑基底的表面形成柔性显示基板。所述柔性显示基板包括:牺牲区和与所述牺牲区邻接设置的显示区,所述牺牲区材料的粘度低于所述显示区材料的粘度。所述柔性显示面板的制备方法可以直接对应牺牲区刻蚀形成贯穿显示器件层和柔性显示基板的通孔。由于牺牲区材料的粘度低于所述显示区材料的粘度,可以采用干法刻蚀刻蚀出通孔,相较于激光切割,不会对开孔区边缘结构造成损害,也不会产生异物,有效提高了开孔显示装置的良率和品质。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,特别是涉及柔性显示基板、柔性显示面板及其制备方法、显示装置。
背景技术
有机发光二极管(英文:Organic Light-Emitting Diode;简称:OLED)显示装置包括柔性显示面板和摄像头等部件。该柔性显示面板包括基底和层叠设置在基底一侧的无机层、阳极、有机发光层、阴极和无机封装层等。在实现全屏显示时,该摄像头设置在柔性显示面板的第一侧,摄像头拍摄所需的光线从该柔性显示面板的第二侧经由柔性显示面板进入摄像头,该第一侧和该第二侧为相对的两侧。
在光经由柔性显示面板的第二侧进入摄像头的过程中,光需要穿过柔性显示面板中的各个膜层。例如,光需要依次穿过无机封装层、阴极、有机发光层、阳极、无机层和基底。现有技术中,为了使可见光能够从显示装置透过,带有孔洞结构的全面屏将成为设计的最新趋势,孔洞位置可以放置摄像头,听筒等器件。
发明内容
基于此,有必要针对带有孔洞结构的全面屏在开孔过程中,产生的在孔洞边缘开裂或孔洞中存在异物的问题,提供一种柔性显示基板、柔性显示面板及其制备方法、显示装置。
一种柔性显示面板的制备方法,包括:
提供支撑基底;
在所述支撑基底的表面形成柔性显示基板,所述柔性显示基板包括:显示区和牺牲区;所述显示区与所述牺牲区邻接设置,所述牺牲区材料的粘度低于所述显示区材料的粘度;
在所述柔性显示基板的表面形成显示器件层,以获得柔性显示面板;
对应所述牺牲区,刻蚀形成贯穿所述显示器件层和所述柔性显示基板的通孔;
将所述柔性显示面板与所述支撑基底分离。
作为一种较佳的实施例,在上述实施例的基础上,在对应所述牺牲区,刻蚀所述柔性显示基板,形成贯穿所述显示器件层和所述柔性显示基板的通孔的步骤中包括:
对应所述牺牲区得出图形掩膜区域,所述图形掩膜区域的面积大于或等于所述牺牲区的成膜面积;
按照所述图形掩膜区域,对所述柔性显示基板进行干法刻蚀,以形成贯穿所述显示器件层和所述柔性显示基板的通孔。
作为一种较佳的实施例,在上述实施例的基础上,按照所述图形掩膜区域,对所述柔性显示基板进行干法刻蚀,以形成贯穿所述显示器件层和所述柔性显示基板的通孔的步骤中:
干法刻蚀过程中,刻蚀边缘线与所述显示区指向所述显示器件层的层叠方向呈倾斜角度设置,所述倾斜角度大于0°小于或等于10°。
作为一种较佳的实施例,在上述实施例的基础上,所述在所述支撑基底的表面形成柔性显示基板的步骤,包括:
在所述支撑基底的表面形成所述牺牲区;
在所述支撑基底的表面形成所述显示区;
在所述显示区背离所述支撑基底的一侧进行平坦化处理,以形成所述柔性显示基板。
作为一种较佳的实施例,在上述实施例的基础上,在所述支撑基底的表面形成所述牺牲区的步骤包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择