[发明专利]一种抗高过载梳齿电容式单轴加速度计

权利要求书

1.一种抗高过载梳齿电容式单轴加速度计，包括

玻璃衬底（1），作为衬底，同时也是芯片的最下层，后续可以和陶瓷管壳粘接；

固定极板（2），固定在玻璃衬底（1）的上表面；

其特征在于：

固定极板（2）上设有一个长方形的第一通槽、两个第二通槽和两个第三通槽分别与玻璃衬底（1）相连通，其中第二通槽沿第一通槽的两条短边设置，第三通槽沿第一通槽长边的中点向外设置，两个第二通槽的中心分别设有一个第一锚点（4），每个第三通槽靠近第一通槽的端部设有两个第二锚点（5），第一锚点（4）和第二锚点（5）均固定在玻璃衬底（1）上，

还包括，

设置在第一通槽内的敏感质量（6）和若干梳齿式极板（9），若干梳齿式极板（9）一体连接在敏感质量（6）上；

设置在第三通槽内设有M形梁（8），M形梁（8）中位于两侧的梁分别与第二锚点（5）相连，位于中间的梁长度最长，且与敏感质量（6）相连，

四根U形梁（3），每个第二通槽内设有两根中心对称的U形梁（3），位于同一个第二通槽内的两个U形梁（3）开口相对，一端分别与敏感质量（6）相连，另一端分别与第一锚点（4）相连，

通过四个U形梁（3）、两个M形梁（8）使得敏感质量（6）悬浮于玻璃衬底（1）上方；

所述敏感质量（6）上对称设有两个第四通槽，每个第四通槽内设有一个止挡结构（7），止挡结构（7）固定在玻璃衬底（1）上，用于稳定敏感质量。

2.根据权利要求1所述的抗高过载梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于：敏感质量（6）包括长方形本体和两个凸块，两个凸块分别固连在长方形本体的短边中心伸入第二通槽，长方形本体长边中心处向内凹。

3.根据权利要求2所述的抗高过载梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于：若干梳齿式极板（9）一体连接在敏感质量（6）的长方形本体上，且沿长方形本体的长边设置，M形梁（8）中间的梁与敏感质量（6）的内凹处相连，U形梁（3）一端分别与敏感质量（6）的凸块相连。

4.根据权利要求1所述的抗高过载梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于：第二通槽的长度大于第一通槽的短边长度。

5.根据权利要求1所述的抗高过载梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于：第二通槽和第三通槽长度方向的外侧边平齐。

6.根据权利要求1所述的抗高过载梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于：止挡结构（7）与第四通槽间存在空隙。

7.根据权利要求1所述的抗高过载梳齿电容式单轴加速度计，其特征在于：敏感质量（6）、玻璃衬底（1）和固定极板（2）构成检测电容，同时U形梁（3）、M形梁（8）随着惯性力的作用频繁发生形变，带动敏感质量（6）做出相应的位移响应，得到信号输出。