[发明专利]压电驱动装置、机器人以及打印机

权利要求书

1.一种压电驱动装置，其特征在于，具有：

振动部，通过振动来驱动被驱动部件；和

控制部，控制所述振动部的振动，

所述振动部具备：

基板；

压电体，设置在所述基板上，具有相互处于表背关系的第一面和第二面；

保护层，设置在所述基板上，具有相互不同的第三面和第四面；

驱动用电极，具备配置于所述第一面的第一电极和配置于所述第二面的第二电极，并通过将来自所述控制部的驱动信号输入所述第二电极而使所述压电体振动；

检测用电极，具备配置于所述第一面的第三电极和配置于所述第二面的第四电极，并将与所述压电体的振动对应的检测信号经由所述第四电极输出至所述控制部；

第一检测布线，设置于所述保护层的所述第三面，具有将所述第三电极和所述控制部电连接的第一振动部布线；

第二检测布线，在所述保护层的所述第三面与所述第一振动部布线分离设置，具有将所述第四电极与所述控制部电连接的第二振动部布线；

第一端子，设置于所述第一振动部布线的端部；以及

第二端子，设置于所述第二振动部布线的端部，

在所述第一面上，所述第一电极与所述第三电极分离，并且，在所述第二面上，所述第二电极与所述第四电极分离，

所述第四电极比所述第三电极更与所述基板分离，

所述第二端子的面积比所述第一端子的面积大。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，具有：

贯通布线，贯通所述保护层并设置在所述第二振动部布线与所述第四电极之间。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述控制部具有与所述第一检测布线和所述第二检测布线连接的差动放大器。

4.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

具有设置于所述保护层的所述第三面并与基准电位连接的第一基准电位布线和第二基准电位布线，

在所述第一基准电位布线与所述第二基准电位布线之间，配置有所述第一振动部布线和所述第二振动部布线。

5.根据权利要求4所述的压电驱动装置，其特征在于，

具有设置于所述保护层的所述第四面并与基准电位连接的第三基准电位布线，

在俯视所述第一面时，所述第一基准电位布线、所述第二基准电位布线、所述第一振动部布线以及所述第二振动部布线与所述第三基准电位布线重叠。

6.根据权利要求2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一振动部布线的长度与所述第二振动部布线的长度一致。

7.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一振动部布线及所述第二振动部布线的构成材料相同。

8.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述第一振动部布线及所述第三电极与所述基板之间的寄生电容、和所述第二振动部布线及所述第四电极与所述基板之间的寄生电容相同。

9.一种机器人，其特征在于，具有权利要求1～8中任一项所述的压电驱动装置。

10.一种打印机，其特征在于，具有权利要求1～8中任一项所述的压电驱动装置。