[发明专利]一种对细胞多角度力学测量的微流控芯片及其制作方法

权利要求书

1.一种对细胞多角度力学测量的微流控芯片，其特征在于，其由基片和盖片封装而成，所述的盖片为设有微通道的PDMS基板，其中，微通道AB段与AC段相对位于中心线的AD段对称设置，AE段为AD段的直线延长段，AB段与AC段具有相同的宽度，AD段与AE段具有相同的宽度且宽于AB段与AC段，微通道的B端、C端、D端和E端分别对应设置第一进液口、第二进液口、第三进液口和出液口，∠BAC为30°-60°；所述的基片为尺寸略大于盖片的ITO玻璃，其ITO层上刻蚀有电极，所述电极位于微通道AE段内并与之紧密键合，包括彼此互相间隔的一个上电极和两个下电极。

2.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，所述的微通道AB段、AC段与AD段、AE段的宽度比为1:2.0-3.0。

3.根据权利要求1或2所述的微流控芯片，其特征在于，所述的微通道AB段、AC段的宽度为200微米，AD段、AE段的宽度为450微米。

4.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，∠BAC为60°。

5.根据权利要求1所述的微流控芯片，其特征在于，上电极和下电极的间距为30～60微米，两个下电极之间的间距为15-30微米。

6.一种对细胞多角度力学测量的微流控芯片的制作方法，其特征在于，包括下述步骤：

S1、在ITO玻璃的ITO层上刻蚀彼此互相间隔的一个上电极和两个下电极作为基片；

S2、光刻得到阳膜，倒模得到PDMS微通道，微通道AB段与AC段相对位于中心线的AD段对称设置，AE段为AD段的直线延长段，AB段与AC段具有相同的宽度，AD段与AE段具有相同的宽度且宽于AB段与AC段，微通道的B端、C端、D端和E端分别对应设置第一进液口、第二进液口、第三进液口和出液口，∠BAC为30°-60°；

S3、将ITO玻璃基片与PDMS盖片通过对准平台进行对准，使得电极位于微通道AE段内，紧密键合，即得微流控芯片。

7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述的微通道AB段、AC段与AD段、AE段的宽度比为1:2.0-3.0。

8.根据权利要求6或7所述的制作方法，其特征在于，所述的微通道AB段、AC段的宽度为200微米，AD段、AE段的宽度为450微米。

9.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，∠BAC为60°。

10.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，上电极和下电极的间距为30～60微米，两个下电极之间的间距为15-30微米。