[发明专利]一种PID抗性高的PERC电池组件及其制备方法在审

申请号：	201910811785.3	申请日：	2019-08-29
公开（公告）号：	CN110491952A	公开（公告）日：	2019-11-22
发明（设计）人：	王岚;李忠涌;张忠文;谢毅	申请（专利权）人：	通威太阳能(眉山)有限公司;通威太阳能(成都)有限公司
主分类号：	H01L31/0216	分类号：	H01L31/0216;H01L31/068;H01L31/18
代理公司：	51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司	代理人：	谢建<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址：	620000 四川省***	国省代码：	四川;51
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摘要：
搜索关键词：	钝化保护膜衬底层折射率钝化膜层电池组件依次设置钝化层太阳能电池技术优化制备工艺从上到下扩散层抗性底面顶面膜层排布制备电池优化
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【权利要求书】：

1.一种PID抗性高的PERC电池组件，包括衬底层(1)，其特征在于，衬底层(1)顶面从下到上依次设置有扩散层(2)、SiOx正钝化层(3)和SixNy正减反钝化保护膜层(4)，衬底层(1)底面从上到下依次设置有SiOx背钝化层(6)、AlOx背钝化膜层(7)和SixNy背减反钝化保护膜层(8)，SixNy正减反钝化保护膜层(4)的厚度为75-95nm，其折射率为2.08-2.13，SixNy背减反钝化保护膜层(8)的厚度为90-160nm，SixNy背减反钝化保护膜层(8)的膜层数量为至少2层，且距离衬底层(1)最近一层的折射率≥2.1，AIOx背钝化膜层(7)的厚度为2-28nm，AIOx背钝化膜层(7)的折射率为1.56-1.76。

2.根据权利要求1所述的一种PID抗性高的PERC电池组件，其特征在于，SixNy背减反钝化保护膜层(8)的厚度为100nm。

3.根据权利要求1所述的一种PID抗性高的PERC电池组件，其特征在于，SixNy背减反钝化保护膜层(8)的膜层数量为5层。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的一种PID抗性高的PERC电池组件，其特征在于，SixNy正减反钝化保护膜层(4)上表面设置有正电极(5)，SixNy背减反钝化保护膜层(8)下表面设置有背电场(9)，背电场(9)底部设置有背电极(10)。

5.根据权利要求4所述的一种PID抗性高的PERC电池组件，其特征在于，背电场(9)的厚度为5-30μm。

6.根据权利要求5所述的一种PID抗性高的PERC电池组件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：根据管式PECVD工艺，在衬底层(1)顶面依次制备扩散层(2)和SiOx正钝化层(3)，在衬底层(1)底面制备SiOx背钝化层(6)；

S2：然后在SiOx背钝化层(6)底面通过ALD工艺沉积形成AlOx背钝化膜层(7)，沉积的圈数为24-36圈；

S3：然后在SiOx正钝化层(3)顶面镀膜形成SixNy正减反钝化保护膜层(4)，并进行退火，退火时间为17-44min，退火温度在380-480℃；

S4：然后在AIOx背钝化膜层(7)底面镀膜形成SixNy背减反钝化保护膜层(8)，并进行退火，退火时间为17-44min，退火温度在380-480℃。

7.根据权利要求6所述的一种PID抗性高的PERC电池组件的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：

S01：在SixNy背减反钝化保护膜层(8)底面通过532nm-1064nm的激光进行局部开槽，局部开槽区域占比0.5％-6％；

S02：在SixNy背减反钝化保护膜层(8)底面通过丝网印刷得到背电场(9)；