[发明专利]一种无热阵列波导光栅在审
| 申请号： | 201910812393.9 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110376677A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈亦凡;郑睿 | 申请（专利权）人： | 易锐光电科技（安徽）有限公司;苏州易锐光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 唐静芳 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列波导光栅 负温度系数材料 硅基衬 二氧化硅材料 波导芯层 多层结构 阵列波导 折射率 包层 温漂 折射率温度系数 周期性设置 波导结构 工艺需求 芯层结构 光栅 受热 包层的 形变 减小 芯层 引入 保证 | ||
1.一种无热阵列波导光栅，包括硅基衬底；和设置于所述硅基衬底之上的：
至少一个输入光信号的输入波导；
由第一平板波导构成的第一自由传输区，与所述输入波导的输出端耦合；
无热阵列波导，与所述第一自由传输区的输出端耦合；
由第二平板波导构成的第二自由传输区，与所述波导阵列的输出端耦合；
至少一个输出光信号的输出波导，与所述第二自由传输区的输出端耦合；
所述无热阵列波导包括包层与波导芯层，所述芯层设于所述包层之中，并且其折射率高于所述包层的折射率；
所述波导芯层包括周期性设置的多层结构，所述多层结构包括：双层二氧化硅材料以及设置于所述双层二氧化硅材料之间的负温度系数材料；所述负温度系数材料用于对所述硅基衬底受热后尺寸形变进行补偿，以减小该无热阵列波导光栅的温漂系数。
2.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于，所述负温度系数材料为二氧化钛。
3.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于，所述多层结构中，二氧化硅材料的厚度为0.5～1μm，二氧化钛材料的厚度为0.05-0.1μm。
4.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于，所述多层结构的有效折射率为1.5-1.6。
5.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于，所述多层结构的有效折射率温度系数为-2e-6～-4e-6/k。
6.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于，所述负温度系数材料的厚度与所述波导芯层的最佳有效折射率有关。
7.根据权利要求1所述的无热阵列波导光栅，其特征在于，所述负温度系数材料的厚度与所述波导芯层的最佳有效折射率温度系数有关。
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