[发明专利]蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法

说明书

本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。

本申请是申请日为2018年01月15日、发明名称为“蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法”、申请号为201810034119.9的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本公开的实施方式涉及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。

背景技术

近年，对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，即使对于可移动设备，应对超全高清的需要也在不断高涨，这种情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。

在显示装置中，由于响应性良好、能耗低且对比度高，有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知这样的方法：使用形成有以所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所希望的图案形成像素。具体来说，首先，使蒸镀掩模紧密贴合于有机EL显示装置用的基板，接着，将紧密贴合的蒸镀掩模和基板一起放入蒸镀装置中，执行使有机材料蒸镀到基板上的蒸镀工序。由此，能够以与蒸镀掩模的贯通孔的图案相对应的图案在基板上形成含有有机材料的像素。

在蒸镀工序中，蒸镀掩模例如如专利文献1所公开的那样被固定于具有规定的刚性的框架上。例如，在蒸镀掩模具有包含一对长边和一对短边的矩形形状的情况下，蒸镀掩模以在长边的方向上被拉伸的状态固定于框架上。由此，能够抑制蒸镀掩模挠曲，提高像素的尺寸精度和位置精度。

专利文献1：日本特许第5382259号公报

作为决定在基板上形成的像素的位置精度的重要因素，可以列举出蒸镀掩模相对于基板或框架的对位精度。作为对位时的蒸镀掩模的基准位置，例如利用蒸镀掩模的外形的轮廓。对于蒸镀掩模的轮廓的位置，例如通过使用照相机等对蒸镀掩模进行摄影来检测出来。

在根据利用照相机等所拍摄的图像来检测蒸镀掩模的轮廓位置的工序中，优选在图像中明确地显示出蒸镀掩模的区域与其它区域的边界。可是，若在限定蒸镀掩模的轮廓的部分中发生光的散射，则会导致蒸镀掩模的区域与其它区域的边界在图像中变得模糊。

发明内容

本公开的实施方式的目的在于提供一种能够有效地解决这样的课题的蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。

本公开的第1实施方式是蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其中，所述蒸镀掩模具备：形成有所述贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，所述贯通孔包括：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且在孔连接部处与所述第1凹部连接，所述长侧面的所述第1部分的所述第1端部位于比所述孔连接部靠所述第1面侧的位置。可以是，所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。或者也可以是，所述第1端部位于比所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部靠外侧的位置，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上。