[发明专利]设备前端装置及其操作方法

权利要求书

1.一种设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含：

一壳体，相对于该壳体周围环境提供一隔离环境，并包含在该壳体的一内部与该壳体的一外部之间延伸的一第一机台接取端口和一第二机台接取端口；

一第一机台接取面板，配置以在一第一闭合位置与一第一开启位置之间移动，该第一机台接取端口在该第一闭合位置闭合，该第一机台接取端口在该第一开启位置开启；

一第二机台接取面板，配置以在一第二闭合位置与一第二开启位置之间移动，该第二机台接取端口在该第二闭合位置闭合，该第二机台 接取端口在该第二开启位置开启；

一第一空气幕系统，包含：

一第一气体源室；

一第一排放喷嘴，与该第一气体源室流体连通，并定位以导流排出经过该第一机台接取端口的一第一空气幕，该第一排放喷嘴延伸该第一机台接取端口的一第一侧的一长度；

一第一气体收集室；和

一第一进气孔，与该第一气体收集室流体连通，并定位以接收由该第一排放喷嘴排出的该第一空气幕，该第一进气孔延伸该第一机台接取端口的一第二侧的一长度，该第一机台接取端口的该第二侧位于该第一机台接取端口的与该第一侧相对的一侧上；

一第二空气幕系统，包含：

一第二气体源室；

一第二排放喷嘴，与该第二气体源室流体连通，并定位以导流排出经过该第二机台接取端口的一第二空气幕，该第二排放喷嘴延伸该第二机台接取端口的一第一侧的一长度；

一第二气体收集室；和

一第二进气孔，与该第二气体收集室流体连通，并定位以接收由该第二排放喷嘴排出的该第二空气幕，该第二进气孔延伸该第二机台接取端口的一第二侧的一长度，该第二机台接取端口的该第二侧位于该二机台接取端口的与该第一侧相对的一侧上；以及

一第三空气幕系统，配置产生一第三空气幕，该第三空气幕配置为将该壳体的内部分成一第一腔室和一第二腔室，其中该第一腔室包含该第一机台接取端口和该第一机台接取面板，该第二腔室包含该第二机台接取端口和该第二机台接取面板。

2.根据权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含一机器人搬运系统，定位在该壳体内且配置以经由该第一机台接取端口或该第二机台接取端口传送多个制品。

3.根据权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，该壳体配置以在一位置耦接一处理机台，使得该处理机台的一内部可经由该第一机台接取端口或该第二机台接取端口接取。

4.根据权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，该壳体包含在该壳体的该内部与该壳体的该外部之间延伸的一第一前开式通用容器接取端口和一第二前开式通用容器接取端口。

5.根据权利要求4所述的设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含一第一前开式通用容器底座，位于该壳体的该外部并包括该第一前开式通用容器接取端口，该第一前开式通用容器底座配置以在该第一前开式通用容器接取端口上接收一前开式通用容器并且将该前开式通用容器与该壳体密封地接合。

6.根据权利要求5所述的设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包含一机器人搬运系统，定位在该壳体内且配置以经由该第一前开式通用容器接取端口与经由该第一机台接取端口而在该前开式通用容器与一处理机台之间传送复数个制品。

7.根据权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，该第一机台接取端口的该第一侧与该第二侧水平延伸，并且该第一空气幕系统配置以产生以一水平气流经过该第一机台接取端口的该第一空气幕。

8.根据权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，该第一机台接取端口的该第一侧与该第二侧垂直延伸，并且该第一空气幕系统配置以产生以一垂直气流经过该第一机台接取端口的该第一空气幕。

9.根据权利要求1所述的设备前端装置，其特征在于，该设备前端装置包括一控制器，该控制器配置以控制该第一机台接取面板在该第一开启位置与该第一闭合位置之间的移动，并控制该第一空气幕系统的运作。