[发明专利]一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用

说明书

本发明提供了一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用，介绍了配比、制作和应用，其目的在于克服现有清洗技术的不足，即导致清洗后的防着板存在很多肉眼不可见的残留有机物(通过显微镜紫外灯可见)，形成particle源的问题，本发明提供一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用，既能确保该类蒸镀防着板彻底清洗干净，无微观的有机残留，从而减少设备运行过程中出现particle的风险，又可以保证防着板材质清洗过程中不受损害，提高设备使用寿命，降低采购成本。

技术领域

本发明涉及一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用。

背景技术

随着面板显示技术的不断发展更迭，传统的电子管、液晶晶体管显示技术逐步成熟，基于有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED) 作为一种新型的纯固体显示技术，具备之前的技术优势，并具有独特的自发光、超轻薄、响应快、宽视角等优点被广泛关注，OLED显示技术已被广泛的研究、生产。

OLED显示屏中有机发光层的制备，通常是采用真空蒸镀技术，即在真空腔体设备内，通过加热坩埚中的蒸镀材料，使其蒸发并沉积在目标基板上。其中涉及到有机蒸镀过程中防着板使用一段时间后，表面吸附的有机物逐渐累积，形成particle，所以需要定期对其进行拆卸清洗。图1所示，现有清洗方法主要是通过纯吡咯烷酮等有机溶剂浸泡去除，清洗后的防着板存在很多肉眼不可见的残留有机物（通过显微镜紫外灯可见），装入设备后形成particle，造成玻璃基板报废。因此研发一种彻底去除有机膜的清洗剂尤为重要。而到目前为止，尚未有关于此类清洗剂的相关文献报道。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种OLED有机蒸镀设备防着板清洗剂及应用，以重量份计，该清洗剂包含以下组分：

有机酮类溶剂 40~60份

有机胺类溶剂 15~20份

有机酯类溶剂 10~15份

有机砜、亚砜类溶剂 10~15份；

其中，所述有机酮类溶剂为丙酮、苯基甲基甲酮、N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮的一种或两种以上的组合。

其中，所述的有机胺类溶剂为一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N,N-二甲基甲酰胺的一种或两种以上的组合；

其中，所述有机酯类溶剂为乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙二酸乙二酯的一种或两种以上的组合；

其中，所述有机砜、亚砜类溶剂为二甲砜、苯乙砜、二乙基砜、二苯基砜、环丁砜的一种或两种以上的组合。

优选的，所述清洗剂，以重量百分比计，包括如下组分：

N-甲基吡咯烷酮 55份

N,N-二甲基甲酰胺 15份

一乙醇胺 5份

乙酸乙酯 15份

二甲砜 10份。

优选的，一种OLED有机蒸镀设备防着板的清洗剂的制备方法，包括：

按上述的重量份，取各种组分依次加入搅拌釜内，其中搅拌速度控制在30~50转/分钟，搅拌釜夹套内使用冷却水进行冷却，温度控制在40度以下，常温缓慢搅拌30min后制得清洗剂。