[发明专利]消音结构、消音装置、包含运动台的设备以及光刻设备

权利要求书

1.一种消音结构，其特征在于，包括框架，所述框架的内部形成有气流通道，所述气流通道的内部设置有阻性消声单元、分流消声单元以及微穿孔消声单元；

所述阻性消声单元包括至少一层金属层以及至少一层吸声材料，在所述气流通道的内壁与至少一层所述金属层之间设置至少一层所述吸声材料，所述吸声材料覆盖所述气流通道的所有内壁；

所述分流消声单元包括至少一个分流柱以及形成于所述气流通道内的分流腔，至少一个所述分流柱横置于所述分流腔内，以将所述分流腔分隔成至少两个通道，至少两个所述通道的长度不相等；

所述微穿孔消声单元包括至少一层微穿孔板以及形成于所述气流通道内的容置腔，至少一层所述微穿孔板横置于所述容置腔内并在所述微穿孔板后留有空腔。

2.根据权利要求1所述的消音结构，其特征在于，所述阻性消声单元包括一层金属层以及一层吸声材料，且所述金属层为复合金属板。

3.根据权利要求1所述的消音结构，其特征在于，所述阻性消声单元包括二层金属层以及一层吸声材料，且所述框架直接构成其中一层所述金属层，一层所述吸声材料设置于二层所述金属层之间，二层所述金属层均为复合金属板。

4.根据权利要求1所述的消音结构，其特征在于，所述阻性消声单元的消音量的计算公式为：

其中：TL1为消音量；F为气流通道断面周长；S为气流通道横截面积；l为气流通道有效长度；α为吸声系数。

5.根据权利要求1所述的消音结构，其特征在于，所述分流消声单元包括一个分流柱，且所述分流柱由吸声材料制成。

6.根据权利要求5所述的消音结构，其特征在于，所述分流柱的横截面形状为圆形、菱形或椭圆形。

7.根据权利要求5所述的消音结构，其特征在于，所述分流柱将所述分流腔分隔成第一通道和第二通道，所述第二通道长于所述第一通道，且所述第二通道和所述第一通道的长度满足以下要求：

其中：L1为第一通道的长度；L2为第二通道的长度；n为任一自然数；λ为入射声波波长。

8.根据权利要求7所述的消音结构，其特征在于，所述第二通道的断面形状为梯形或V形，和/或，所述第一通道的断面形状为矩形。

9.根据权利要求1所述的消音结构，其特征在于，所述微穿孔消声单元包括两层微穿孔板，所述两层微穿孔板间隔设置在所述容置腔内，且相邻层所述微穿孔板以及所述框架与最近的微穿孔板之间均留有空腔。

10.根据权利要求9所述的消音结构，其特征在于，相邻层所述微穿孔板之间的空腔设置有吸声材料，和/或，所述框架与最近的微穿孔板之间的空腔设置有吸声材料。

11.根据权利要求9所述的消音结构，其特征在于，所述容置腔的断面形状为矩形。

12.根据权利要求1所述的消音结构，其特征在于，单层微穿孔板的消音量的计算公式为：

其中：TL3为消音量；f_r为微穿孔板的共振频率；G为空气传导率；V为板后空腔体积；t为微穿孔板厚度；S为空腔横截面积；d为微穿孔板上开孔的当量直径；f为入射声波的频率；c为介质声速。

13.根据权利要求1-12中任一项所述的消音结构，其特征在于，所述气流通道自入口到出口的有效长度在20～50mm之间。

14.根据权利要求1-12中任一项所述的消音结构，其特征在于，所述微穿孔板的厚度小于或等于1.0mm，所述微穿孔板上的开孔孔径在0.5～1.0mm。