[发明专利]一种基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法

权利要求书

1.一种基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法，其特征在于：包括以下步骤：

S100、对光刻图形进行数据转换成GDSII格式数据；

S200、读取GDSII格式数据，得到所述光刻图形的宽W和高H；

S300、根据直写式光刻机系统所使用的DMD的个数N，以及每个DMD相互之间的中心间距，对所述光刻图形进行切割，则得到每个DMD需要完成的曝光图形宽度；

S400、将每个DMD需要完成的曝光图形数据，发送至与DMD对应的数据处理单元；

S500、数据处理单元对接收到的GDSII的轮廓数据进行并行处理，对其中的基础结构的数据进行三角分解，使得每个基础图形都由三角形组成；

S600、使用CUDA对三角化的基础结构数据，进行切割，得到每一帧的图形数据，将原有的三角形数据转换为凸四边形数据；并将凸四边形数据，发送到FPGA；

S700、FPGA逻辑处理单元，通过多线程对凸四边形数据进行填充，得到填充后的G阶灰度数据,其中G取值为大于0的自然数；

S800、将G阶灰度数据发送到DMD进行显示。

2.根据权利要求1所述的基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法，其特征在于：所述步骤S500中数据处理单元是工作站或服务器或处理板卡。

3.根据权利要求1所述的基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法，其特征在于：所述步骤S600中的每一帧的图形数据的帧值大小根据DMD数字微镜的分辨率设定。

4.根据权利要求1所述的基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法，其特征在于：所述步骤S600中并将凸四边形数据，发送到FPGA；其中发送介质是USB3.0、千兆网、光纤、PCIE中的之一。