[发明专利]一种太赫兹光谱仪探头在审
| 申请号： | 201910817364.1 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110618104A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 曲秋红;李萌 | 申请（专利权）人： | 莱仪特太赫兹(天津)科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581 |
| 代理公司： | 12201 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300084 天津市滨海新区华苑*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分束器 接收天线 太赫兹脉冲信号 发射天线 聚焦镜 准直透镜 入射 发射天线座 透射和反射 光谱仪 样品反射 俯仰 脉冲 偏摆 探头 反射 平行 聚焦 测试 汇聚 发射 | ||
【权利要求书】：
1.一种太赫兹光谱仪探头，包括太赫兹发射天线、连接太赫兹发射天线的发射天线座、太赫兹接收天线、连接太赫兹接收天线的接收天线座和中央处理器，其特征在于，太赫兹发射天线的俯仰和偏摆角度能够被调整，太赫兹发射天线发射出的太赫兹脉冲信号经过固定在准直透镜座上的太赫兹准直透镜调直后入射到分束器，分束器设置在分束器座上并能够旋转，通过对分束器的角度调整，使得一部分调直后的太赫兹脉冲信号透过分束器，再经过太赫兹聚焦镜一聚焦后入射到样品上；从样品反射回来的太赫兹脉冲信号，经太赫兹聚焦镜一，在分束器上发生透射和反射，经太赫兹聚焦镜二将分束器反射回来的太赫兹脉冲信号平行脉冲汇聚，太赫兹接收天线连接在接收天线座上，太赫兹接收天线的俯仰、偏摆角度能够被调整，从而使得脉冲汇聚到接收天线；由接收天线采集的脉冲信号由中央处理器处理数据。
2.根据权利要求所述的探头，其特征在于，发射天线座、准直透镜座、分束器座和固定聚焦镜一的第一聚焦透镜座固定在第一连接柱上、固定聚焦镜二的第二聚焦透镜座和接收天线座固定在与第一连接柱相垂直的第二连接柱上，以保证光路的同轴度。
3.根据权利要求所述的探头，其特征在于，采用Menlo Systems或Advantest公司太赫兹发射天线。
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