[发明专利]一种显示面板及套刻精度测量方法、显示装置有效
申请号: | 201910818423.7 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN110534501B | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 刘兴华;王中来;晁伟;葛丰 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;G03F7/20 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 范坤坤 |
地址: | 230012 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 精度 测量方法 显示装置 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:衬底和形成在所述衬底上的多层外延层;
形成在基准层的上的前层测量标记;所述基准层为所述衬底或所述多层外延层中的一层;
形成在所述基准层远离所述衬底的一侧的当前层的后层测量标记,所述当前层为所述多层外延层中的一层;
所述前层测量标记包括多个第一条状结构;所述后层测量标记包括多个第二条状结构,使得所述显示面板可获取多组沿第一方向抓取的测量抓取距离和多组沿第二方向抓取的测量抓取距离;所述测量抓取距离为沿抓取方向上,所述第一条状结构与对应的第二条状结构相邻两边之间的距离;所述第一方向和所述第二方向相交。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一条状结构和所述第二条状结构均为直线型;
所述前层测量标记包括至少一个第一线阵列组;每个所述第一线阵列组包括至少两条沿第一方向延伸的第一条状结构;所述后层测量标记包括与所述第一线阵列组一一对应的第二线阵列组;所述第二线阵列组包括沿第一方向延伸的,与对应第一线阵列组的第一条状结构一一对应的第二条状结构;所述第一线阵列组与对应的所述第二线阵列组沿第二方向相邻设置,以用于获取沿第二方向上的所述测量抓取距离;
所述前层测量标记包括至少一个第三线阵列组;每个所述第三线阵列组包括至少两条沿第二方向延伸的第一条状结构;所述后层测量标记包括与所述第三线阵列组一一对应的第四线阵列组;所述第四线阵列组包括沿第二方向延伸的,与对应第三线阵列组的第一条状结构一一对应的第二条状结构;所述第三线阵列组与对应的所述第四线阵列组沿第一方向相邻设置,以用于获取沿第一方向上的所述测量抓取距离。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一条状结构和所述第二条状结构均为“L”型;所述第一条状结构和第二条状结构均包括相互垂直设置第一端子和第二端子;
所述前层测量标记包括至少一个第一嵌套阵列组;每个第一嵌套阵列组包括至少两个嵌套的第一条状结构;所述嵌套的第一条状结构的第一端子沿第二方向相互平行设置,第二端子沿第一方向相互平行设置;
所述后层测量标记包括与所述第一嵌套阵列组一一对应的第二嵌套阵列组;每个第二嵌套阵列组包括与对应第一嵌套阵列组的第一条状结构一一对应的第二条状结构;所述第二条状结构嵌套设置,所述第二条状结构的第一端子沿第二方向相互平行设置,第二端子沿第一方向相互平行设置;
所述第一嵌套阵列组与对应的所述第二嵌套阵列组成呈中心对称设置,以用于获取沿第一方向的测量抓取距离和沿第二方向的测量抓取距离。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一条状结构为十字型,所述第二条状结构为用于围绕所述第一条状结构的矩形框状;或者,
所述第二条状结构为十字型,所述第一条状结构为用于围绕所述第二条状结构的矩形框状。
5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一条状结构和所述第二条状结构均为“梳子”型;
存在所述第一条状结构包括等间距设置的,沿第一方向延伸的至少两个第一伸出端子;存在所述第二条状结构包括等间距设置的,沿第一方向延伸的至少两个第二伸出端子;沿第二方向上,所述第一伸出端子与所述第二伸出端子交错设置,以用于获取沿第二方向的测量抓取距离;
存在所述第一条状结构包括等间距设置的,沿第二方向延伸的至少两个第三伸出端子;存在所述第二条状结构包括等间距设置的,沿第二方向延伸的至少两个第四伸出端子;沿第一方向上,所述第三伸出端子与所述第四伸出端子交错设置,以用于获取沿第一方向的测量抓取距离。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥维信诺科技有限公司,未经合肥维信诺科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910818423.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体器件和包括半导体器件的存储模块
- 下一篇:封装结构