[发明专利]一种体声波谐振器在审
| 申请号： | 201910818904.8 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110417375A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;张瑞珍 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201313 上海市浦东新区万*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电层 第二电极 第一电极 体声波谐振器 声波谐振器 开缝 种体 横向驻波 噪声 指向 贯穿 | ||
【权利要求书】：
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：
第一电极、压电层以及第二电极，所述压电层设置于所述第一电极和所述第二电极之间；
所述压电层设置有至少一个开缝，沿所述第一电极指向所述第二电极的方向，所述开缝至少贯穿所述压电层。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于：
沿所述第一电极指向所述第二电极的方向，所述开缝贯穿所述第一电极和所述第二电极。
3.根据权利要求1或2所述的体声波谐振器，其特征在于：
所述开缝在所述第一电极上的垂直投影与所述压电层在所述第一电极上的垂直投影的任意边均不平行。
4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于：
所述开缝在所述第一电极上的垂直投影的形状包括矩形、椭圆形或梯形。
5.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于：
所述开缝在所述第一电极的垂直投影的宽度的取值范围为5微米-15微米。
6.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于：
所述压电层设置有至少两个开缝。
7.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于：
所述至少两个开缝互相不平行。
8.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于：
所述至少两个开缝不对称。
9.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于：
所述谐振器在所述第一电极的垂直投影的形状为圆形、正方形或长方形。
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