[发明专利]测量扫描振镜偏转角度的方法及使用其的激光雷达

权利要求书

1.一种测量扫描振镜偏转角度的方法，所述扫描振镜包括第一表面，其特征在于，所述扫描振镜与一固定的第二表面邻近，在所述第一表面设置激励线圈，在所述第二表面上设置感应线圈；所述方法包括：

向所述激励线圈输入预设频率的电流信号；

检测感应线圈上产生的互感电压信号；

根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化；

根据所述距离变化确定所述第一表面的偏转角度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述感应线圈的数量为1个；

所述检测感应线圈上产生的互感电压信号，包括：

检测该感应线圈上产生的互感电压信号；以及

所述根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化，包括：

根据检测到的该感应线圈上的互感信号以及所述初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述感应线圈的数量为两个或者两个以上；且各所述感应线圈位于所述第二表面的不同位置；

所述检测感应线圈上产生的互感电压信号，包括：

检测各感应线圈上产生的互感电压信号；以及

所述根据所述互感电压信号以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化，包括：

根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与所述激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化，包括：

根据该任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差，以及激励线圈与该任意两个感应线圈中的各感应线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：根据所述电流信号以及所述初始距离，确定测量所述偏转角度方法的灵敏度。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号以及该两个感应线圈各自与激励线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与该两个所述感应线圈中各感应线圈之间的距离变化，包括：

根据任意两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之差、该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和，该两个感应线圈各自所产生的互感电压信号之和以及所述激励线圈与所述感应线圈之间的初始距离，确定所述激励线圈与所述感应线圈之间的距离变化。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

通过减小所述初始距离和/或增加激励电流，降低噪声对测量所述偏转角度的影响。

8.一种激光雷达，其特征在于，包括扫描振镜，与所述扫描振镜邻近的固件以及信号处理单元；

所述扫描振镜具有第一表面，所述固件具有第二表面；所述第一表面和所述第二表面均为平面；所述第一表面上设置激励线圈，所述第二表面上设置至少一个感应线圈；

所述扫描振镜可绕其旋转轴旋转；

所述信号处理单元用于使用权利要求1-7之一的方法测量第一表面的偏转角度。

9.根据权利要求8所述的激光雷达，其特征在于，所述第二表面位于所述第一表面之上，或者位于所述第一表面之下。

10.根据权利要求8所述的激光雷达，其特征在于，所述感应线圈的尺寸小于所述激励线圈的尺寸。

11.根据权利要求8所述的激光雷达，其特征在于，所述感应线圈数量为两个，所述第二表面 位于所述第一表面 的正下方，两个所述感应线圈设置在所述旋转轴两侧，且关于所述旋转轴对称。