[发明专利]光纤固定装置及制作方法在审
| 申请号： | 201910821660.9 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110441866A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 孙其梁;徐乃涛;程进;李宋泽 | 申请（专利权）人： | 无锡微视传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/36 | 分类号： | G02B6/36 |
| 代理公司： | 江苏漫修律师事务所 32291 | 代理人： | 平梁良 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定孔 弹片 光纤固定装置 插入孔 衬底 可动 背面 光纤 环绕 环形隔离槽 工艺加工 固定装置 光纤脱落 加工误差 正面固定 正面加工 直径误差 成品率 分隔槽 光纤夹 回弹力 生产成本 连通 制作 加工 配合 | ||
1.一种光纤固定装置，其特征在于：包括衬底（1），衬底（1）的正面加工有固定孔（5），背面与固定孔（5）相对的位置加工有插入孔（6），插入孔（6）和固定孔（5）连通；所述固定孔（5）被至少两个弹片（4）所环绕，弹片（4）之间被分隔槽（3）分开，弹片（4）的外圈被环形隔离槽（2）环绕。
2.根据权利要求1所述的光纤固定装置，其特征在于：所述固定孔（5）为圆台形状，位于衬底（1）正面的上孔径小于或等于底部的下孔径；所述插入孔（6）为喇叭形状，在衬底（1）背面的孔径大于固定孔（5）的下孔径。
3.根据权利要求2所述的光纤固定装置，其特征在于：所述固定孔（5）侧壁倾斜角度为0~5度。
4.根据权利要求2所述的光纤固定装置，其特征在于：所述固定孔（5）上孔径小于或者等于光纤的直径，下孔径大于光纤的直径。
5.根据权利要求1所述的光纤固定装置，其特征在于：所述固定孔（5）的深度大于环形隔离槽（2）和分隔槽（3）的深度。
6.根据权利要求1所述的光纤固定装置，其特征在于：所述弹片（4）和分隔槽（3）数量为N，N≧2。
7.一种制作权利要求1的光纤固定装置的方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1步骤，在衬底（1）正面淀积阻挡层（7），并通过光刻和腐蚀工艺，将阻挡层（7）刻蚀出与隔离槽和固定孔（5）对应的图形；
S2步骤，以阻挡层（7）做掩蔽层，利用干法刻蚀工艺进行深硅刻蚀，刻蚀出圆台形状的固定孔（5）和隔离槽，形成弹片（4）；
S3步骤，去除阻挡层（7）；
S4步骤，在衬底（1）的正面和背面分别淀积第一阻挡层（8）和第二阻挡层（9）；
S5步骤，在衬底（1）背面的第二阻挡层（9）表面进行光刻，打开与固定孔相对的刻蚀窗口，通过腐蚀工艺刻蚀第二阻挡层（9）和衬底（1），形成插入孔（6）；
S6步骤，去除衬底（1）两面的第一阻挡层（8）和第二阻挡层（9），插入孔（6）与固定孔（5）导通。
8.根据权利要求7所述的光纤固定装置的制作方法，其特征在于：所述S2步骤中，刻蚀工艺分两步，分别刻蚀固定孔（5），以及隔离槽。
9.根据权利要求7所述的光纤固定装置的制作方法，其特征在于：整体制作方法为先刻蚀形成插入孔，再刻蚀形成固定孔（5）和隔离槽。
10.根据权利要求7所述的光纤固定装置的制作方法，其特征在于：所述衬底（1）为SOI硅片；所述阻挡层（7）为二氧化硅，或者二氧化硅与氮化硅的双层薄膜；所述第一阻挡层（8）和第二阻挡层（9）为氮化硅薄膜，或者二氧化硅与氮化硅的双层薄膜，氮化硅厚度大于二氧化硅的厚度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡微视传感科技有限公司，未经无锡微视传感科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910821660.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镀膜光纤反射镜固定方法
- 下一篇：在其中具有可更换重定位装置的挠性罩
