[发明专利]碳化硅长晶炉超导冷却机组在审
| 申请号： | 201910821713.7 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110359094A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 徐建峰 | 申请（专利权）人： | 青岛云创环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 卓邦荣;郭成 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 板式换热器 长晶炉 冷凝器 载冷剂 超导冷却 碳化硅 炉体 冷却塔 体内 板式换热器降温 机组 管道输送 冷却方式 外壳内部 恒定的 联通 炉炉 机房 水晶 冷却 能耗 消耗 水源 | ||
【权利要求书】：
1.碳化硅长晶炉超导冷却机组，其特征在于：包括外壳及位于外壳内部的多组相互连接的板式换热器和冷凝器；所述板式换热器通过两条管道与长晶炉炉体连接，一条管道自长晶炉炉体输送载冷剂至板式换热器内，载冷剂经所述板式换热器降温后，经另一条管道输送至水晶炉炉体内；所述板式换热器内接收载冷剂的管道联通至冷凝器内，所述冷凝器将载冷剂降温后，通过另一条管道经板式换热器内部输送至长晶炉炉体内。
2.根据权利要求1所述的碳化硅长晶炉超导冷却机组，其特征在于：所述冷凝器与板式换热器之间的管道上设置有为载冷剂循环提供动力的水泵。
3.根据权利要求2所述的碳化硅长晶炉超导冷却机组，其特征在于：所述冷凝器与板式换热器之间安装3个温度检测传感器，利用温度检测传感器实现对系统的精确测温。
4.根据权利要求3所述的碳化硅长晶炉超导冷却机组，其特征在于：所述冷凝器的上端安装一个用于加速冷凝器散热的单轴轴流风机。
5.根据权利要求4所述的碳化硅长晶炉超导冷却机组，其特征在于：该装置包括六组相互连接的板式换热器和冷凝器构成的制冷系统，每个所述制冷系统内的冷凝器数量为两个。
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