[发明专利]二氧化氮气体检测器件及其制作方法、以及电子产品

权利要求书

1.一种二氧化氮气体检测器件，其特征在于，包括：

载板组件，所述载板组件包括依次层叠设置的第一载板晶圆、第二载板晶圆及第三载板晶圆，所述第一载板晶圆、所述第二载板晶圆及所述第三载板晶圆均设置有重布线层走线，所述重布线层走线贯穿对应载板晶圆的两表面设置，且相邻两载板晶圆之重布线层走线电性连接，所述第二载板晶圆朝向所述第一载板晶圆设置有容纳空间；

芯片，所述芯片设于所述第一载板晶圆对应所述容纳空间的表面，并电性连接于所述第一载板晶圆的重布线层走线；

加热电极，所述加热电极设于所述第三载板晶圆背向所述第二载板晶圆的表面，并电性连接于所述第三载板晶圆的重布线层走线；以及

气体传感器，所述气体传感器设于所述加热电极的背向所述第三载板晶圆的表面，并电性连接于所述第三载板晶圆的重布线层走线。

2.如权利要求1所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述气体传感器包括：

第一绝缘层，所述第一绝缘层设于所述加热电极的背向所述第三载板晶圆的表面，

叉指电极，所述叉指电极设于所述第一绝缘层背向所述加热电极的表面，并贯穿所述第一绝缘层与所述第三载板晶圆的重布线层走线电性连接；以及

气敏性薄膜，所述气敏性薄膜设于所述叉指电极背向所述第一绝缘层的表面。

3.如权利要求2所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述气敏性薄膜为酞菁铜薄膜。

4.如权利要求1所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述第一载板晶圆、所述第二载板晶圆及所述第三载板晶圆均为玻璃晶圆。

5.如权利要求1所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述芯片包括芯片本体和设于所述芯片本体表面的芯片凸点，所述芯片本体安装于所述第一载板晶圆对应所述容纳空间的表面，所述芯片凸点电性抵接于所述第一载板晶圆的重布线层走线；所述芯片本体与所述第一载板晶圆之间设置有填充层。

6.如权利要求1至5中任一项所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述二氧化氮气体检测器件还包括温度传感器，所述温度传感器设于所述加热电极和所述气体传感器之间，并与所述第三载板晶圆的重布线层走线电性连接。

7.如权利要求6所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述温度传感器包括：

第二绝缘层，所述第二绝缘层设于所述加热电极背向所述第三载板晶圆的表面，并覆盖所述加热电极；

二传感电极，二所述传感电极相对设置于所述第二绝缘层背向所述加热电极的表面，且均贯穿所述第二绝缘层与所述第三载板晶圆的重布线层走线电性连接；以及

热敏性薄膜，所述热敏性薄膜设于二所述传感电极之间，并覆盖二所述传感电极。

8.如权利要求7所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述热敏性薄膜为氧化镍薄膜。

9.如权利要求1所述的二氧化氮气体检测器件，其特征在于，所述第一载板晶圆背向所述第二载板晶圆的表面设置有焊球，所述焊球电性连接于所述第一载板晶圆的重布线层走线。

10.一种电子产品，其特征在于，包括：

安装壳，所述安装壳设有安装腔和连通所述安装腔的进气口；

处理器，所述处理器安装于所述安装腔内；以及

如权利要求1至9任一项所述的二氧化氮气体检测器件，所述二氧化氮气体检测器件安装于所述安装腔内，并对应于所述进气口设置，所述二氧化氮气体检测器件与所述处理器电性连接。