[发明专利]监视半导体制造过程的非暂时性计算机可读介质和方法

权利要求书

1.一种用于监视半导体制造过程的非暂时性计算机可读介质，包括：

存储在所述非暂时性计算机可读介质上的图像转换模型，所述图像转换模型具有人工神经网络，其中，所述图像转换模型包括可由至少一个处理器执行的指令，所述指令当由所述至少一个处理器执行时，使所述处理器执行以下操作：

接收半导体晶片的第一图像和第二图像，所述第一图像和所述第二图像由测量设备生成，其中，所述第二图像的分辨率高于所述第一图像的分辨率；

通过以下操作来训练所述人工神经网络：

输入表示所述第一图像和所述第二图像的数据集；

基于所述第一图像来生成所述半导体晶片的转换图像，所述转换图像的分辨率高于所述第一图像的分辨率；

校准所述人工神经网络的权重和偏置，以使所述转换图像与所述第二图像在预定的差分参考值内相匹配；以及

基于所述人工神经网络的经校准的权重和偏置来生成所述半导体晶片的第三图像。

2.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述第一图像和所述第二图像是由所述测量设备在所述半导体晶片的相同位置处测量的。

3.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，生成所述转换图像包括：

基于所述权重中的第一权重和所述偏置中的第一偏置，生成与所述第一图像相关联的第一特征映射数据；

基于所述权重中的第二权重和所述偏置中的第二偏置，将所述第一特征映射数据映射到第二特征映射数据；以及

基于所述权重中的第三权重和所述偏置中的第三偏置，将所述第二特征映射数据重建为所述转换图像。

4.根据权利要求1所述的非暂时性计算机可读介质，其中，执行所述图像转换模型的所述处理器被配置为：通过使用式1来比较所述转换图像与所述第二图像，以确定所述转换图像与所述第二图像之间的差异，

其中，在式1中，

W是所述人工神经网络的权重，

B是所述人工神经网络的偏置，

C是所述转换图像，

H是所述第二图像，

n是由所述处理器接收的所述半导体晶片的图像的数量，并且

L是损失函数。

5.根据权利要求3所述的非暂时性计算机可读介质，其中，生成所述第一特征映射数据包括：执行与所述第一图像和所述第一权重相关联的第一卷积运算以及与所述第一卷积运算的第一结果和所述第一偏置相关联的第一加法运算，

其中，将所述第一特征映射数据映射到所述第二特征映射数据包括：执行与所述第一特征映射数据和所述第二权重相关联的第二卷积运算以及与所述第二卷积运算的第二结果和所述第二偏置相关联的第二加法运算，并且

其中，将所述第二特征映射数据重建为所述转换图像包括：执行与所述第二特征映射数据和所述第三权重相关联的第三卷积运算以及与所述第三卷积运算的第三结果和所述第三偏置相关联的第三加法运算。