[发明专利]极板的夹持机构、极板间距的调整结构及电解蚀刻设备

权利要求书

1.一种极板的夹持机构，其特征在于，包括安装座(11)，及设在所述安装座(11)上的至少一个夹持部件(12)，且所述夹持部件(12)与安装座(11)上未设置夹持部件(12)的第一壁面相对布置以形成一端呈第一开口的夹持腔体。

2.根据权利要求1所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述夹持部件(12)包括固定在所述安装座(11)上的固定段(121)，及设在所述固定段(121)的一端部上的夹持段(122)；所述夹持段(122)相对于所述固定段(121)可做朝向靠近或远离所述第一壁面一侧往复摆动。

3.根据权利要求2所述的极板的夹持机构，其特征在于，至少所述夹持段(122)采用弹性材料制成，所述夹持段(122)固定在所述固定段上且所述夹持段(122)的初始偏压力朝向第一壁面。

4.根据权利要求2或3所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述夹持部件(12)还包括由所述固定段(121)朝向所述夹持段(122)方向倾斜的过渡段(123)，所述固定段(121)与所述夹持段(122)之间通过所述过渡段(123)连接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述夹持机构还包括在所述夹持部件(12)朝向第一壁面方向上，可伸缩地设在所述安装座(11)上且位于所述夹持腔体外的至少一个顶紧件(13)；

所述顶紧件(13)在伸出时，其朝向所述夹持部件(12)的内侧端适于对所述夹持部件(12)背向所述夹持腔体的一侧外壁面上施加顶紧力；所述顶紧件的内侧端在缩回时，适于解除对所述夹持部件(12)的顶紧力。

6.根据权利要求5所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述安装座(11)的一端上开设螺纹孔(111)；所述顶紧件(13)穿设并螺纹配合在所述螺纹孔(111)内，所述顶紧件(13)通过旋转以做伸缩运动。

7.根据权利要求5或6所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述夹持部件(12)背向所述夹持腔体一侧的外壁面上设有向内凹陷的定位孔(124)，所述顶紧件(13)的内侧端通过顶在所述定位孔(124)上以施加所述顶紧力。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述安装座(11)具有敞开口的容纳内腔(3)；

所述容纳内腔的一侧内壁作为所述第一壁面(312)，与所述第一壁面相对的另一侧内壁供所述夹持部件固定；所述安装座通过所述夹持腔体套设在被夹持件上，其中靠近所述第一壁面的被夹持件固定于所述第一壁面上。

9.根据权利要求8所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述第一壁面所在的安装座的第一侧壁(31)的端部朝向第一壁面方向向内折弯形成折弯部(311)，以供固定于所述第一壁面上的被夹持件的端部抵接。

10.根据权利要求8或9所述的极板的夹持机构，其特征在于，所述安装座(11)的纵向截面形状呈U型。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的极板的夹持机构，其特征在于，还包括与所述夹持机构相对设置的至少一个第一支撑座(4)，所述第一支撑座(4)设有与所述夹持腔体一一对应的安装槽(41)，以供极板的两端分别安装在所述夹持腔体和所述安装槽(41)内。

12.一种极板间距的调整结构，其特征在于，包括

至少一个第一安装结构(5)，用于悬挂阳极板和阴极板中的一个；

至少一个第二安装结构(6)，与所述第一安装结构(5)相对布置，用于悬挂阳极板和阴极板中的另一个；

其中，所述第一安装结构(5)和/或所述第二安装结构(6)为权利要求1-11中任意一项所述的极板的夹持机构；

调节组件(7)，适于与被夹持件连接，用于驱动该所述夹持机构做朝向靠近或远离另一个安装结构方向的往复移动。