[发明专利]一种检测微振动传感装置性能的方法及系统

说明书

本发明公开了一种检测微振动传感装置性能的方法及系统，所述方法包括：通过图像放大单元采集微振动产生单元和微振动传感装置的图像；根据微振动产生单元和微振动传感装置的图像调整微振动产生单元和微振动传感装置的接触状态；控制微振动产生单元产生微振动，并检测微振动传感装置的感知性能。本发明根据图像放大单元获取到的微振动产生单元和微振动传感装置的图像，精确调节微振动产生单元和微振动传感装置的接触状态，更加准确地检测微振动传感装置的感知性能。

技术领域

本发明涉及微振动感知检测领域，尤其涉及一种检测微振动传感装置性能的方法及系统。

背景技术

近年来，随着测试技术的发展，在物理、化学、生物、机械等领域对微纳级别的振动检测有了非常广泛的应用。随着电子技术和计算机技术的发展，对微振动的测量精度要求也有了很大的提高。微振动测量在科学研究和工业生产中的重要作用已经被人们广泛接受，微振动测量可以应用在材料的损伤部位检测、结构件的动态响应特性分析、机械系统的故障诊断以及对构件模拟受力结果验证中。

微振动测量中所用到的传感装置的规格一般为微米级别。因此存在传感装置本身规格小导致的传感装置难以定位、难以确定传感装置接触状态的问题。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种检测微振动传感装置性能的方法及系统。本发明根据图像放大单元获取到的微振动产生单元和微振动传感装置的图像，精确调节微振动产生单元和微振动传感装置的接触状态，解决了现有技术中传感装置难以定位、难以确定传感装置接触状态的问题。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种检测微振动传感装置性能的方法，其中，包括：

通过图像放大单元采集微振动产生单元和微振动传感装置的图像；

根据微振动产生单元和微振动传感装置的图像调整微振动产生单元和微振动传感装置的接触状态；

控制微振动产生单元产生微振动，并检测微振动传感装置的感知性能。

所述的检测微振动传感装置性能的方法，其中，所述微振动的振动分辨率为振动幅度是纳米级别的振动。

所述的检测微振动传感装置性能的方法，其中，所述根据微振动产生单元和微振动传感装置的图像调整微振动产生单元和微振动传感装置的接触状态，具体包括：

根据微振动产生单元和微振动传感装置的图像，通过宏动台调整微振动传感装置在XYZ三个方向的位置，改变微振动产生单元和微振动传感装置的接触状态。

所述的检测微振动传感装置性能的方法，其中，所述控制微振动产生单元产生微振动，并检测微振动传感装置的感知性能，具体包括：

通过微振动控制装置控制微振动产生单元产生微振动的振动形式；

微振动传感装置检测到微振动产生单元产生的微振动，并输出振动信号；

通过振动信号放大器对振动信号进行放大和滤波处理得到处理的振动信号；

根据微振动的振动形式和处理的振动信号得到微振动传感装置的感知性能。

所述的检测微振动传感装置性能的方法，其中，所述振动形式包括：振动幅度、振动频率和振动波形。