[发明专利]一种X射线小角散射与X射线成像联用的光学系统在审
申请号: | 201910830779.2 | 申请日: | 2019-09-02 |
公开(公告)号: | CN110514682A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 边风刚;洪春霞;周平;王玉柱 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海应用物理研究所 |
主分类号: | G01N23/201 | 分类号: | G01N23/201;G01N23/20;G01N23/04;G01N23/20008;G03B42/02 |
代理公司: | 31002 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 余永莉<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 小角散射 探测器 真空腔 光学系统 透镜组 阻挡器 束流 二极管 可见光 调焦电机 反射棱镜 入射方向 垂直的 闪烁体 叠置 联用 成像 测量 采集 穿过 折射 计算机 检测 转换 | ||
1.一种X射线小角散射与X射线成像联用的光学系统,其特征在于,包括:
具有一容纳空间的真空腔,所述真空腔的上方包括一窗口;
沿X射线入射方向布置于所述真空腔内的束流阻挡器,包括:依次叠置的二极管、闪烁体、第一透镜组以及反射棱镜;
沿X射线入射方向布置于所述真空腔外的X射线小角散射探测器,所述X射线小角散射探测器位于束流阻挡器的后端;
沿与X射线入射方向垂直的方向安装于所述真空腔外的X射线成像机构,包括:与所述窗口对准的第二透镜组和X射线成像探测器,以及用于辅助所述X射线成像探测器调焦的一维调焦电机;以及
与所述X射线成像探测器信号连接的计算机;
其中,X射线沿X射线入射方向照射到样品,发生小角散射后的X射线通过所述X射线小角散射探测器采集,穿过所述样品的直通X射线经过所述束流阻挡器转换为可见光并被90度折射后在所述X射线成像探测器上成像,实现X射线小角散射和X射线成像的同时测量。
2.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述二极管为硅光电二极管;所述闪烁体由YAG:Ce材料制成。
3.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述第一透镜组由凸透镜、凹透镜、凸透镜、凸透镜、凸透镜、凹透镜这样依次压紧组合而成,所述第二透镜组由凸透镜、凸透镜、凹透镜这样依次压紧组合而成。
4.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述反射棱镜是采用玻璃制成的直角反射棱镜。
5.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述第二透镜组安装于由石英玻璃制成的圆筒形结构中,所述圆筒形结构通过法兰安装于所述窗口上。
6.根据权利要求5所述的光学系统,其特征在于,所述圆筒形结构的外侧设置有防尘防可见光干扰的保护装置。
7.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述束流阻挡器通过一支架安装于所述真空腔内。
8.根据权利要求7所述的光学系统,其特征在于,所述支架可通过二维调节支撑平台调节位置,所述二维调节支撑平台包括水平位置调节模块和垂直位置调节模块。
9.根据权利要求8所述的光学系统,其特征在于,所述一维调焦电机和二维调节支撑平台均通过实验站通用的电机控制器和驱动器进行驱动。
10.根据权利要求1所述的光学系统,其特征在于,所述二极管、闪烁体、第一透镜组以及反射棱镜均依次安装于一圆柱形镜筒中,所述束流阻挡器还包括安装于所述圆柱形镜筒后端的铅皮,用于阻挡直通X射线对所述X射线小角散射探测器的损伤。
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