[发明专利]一种抛光液回收装置及其控制方法

权利要求书

1.一种抛光液回收装置，其特征在于，包括粗抛单元和回收单元，所述粗抛单元包括粗抛液混合桶和粗抛液缓冲桶，所述粗抛液缓冲桶输入端与所述粗抛液混合桶连通，输出端与抛光机连通；所述回收单元包括粗抛液回收桶、PH检测仪、粗抛液中转桶和KOH原液桶，所述粗抛液回收桶与所述抛光机输出端连通，所述PH检测仪输入端与所述粗抛液回收桶输出端连通，所述PH检测仪输出端分别与所述粗抛液混合桶和所述粗抛液中转桶的输入端连通；所述KOH原液桶输出端分别与所述粗抛液中转桶和所述粗抛混合桶输入端连通。

2.根据权利要求1所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述粗抛原液组还包括粗抛原液桶和纯水源，所述粗抛原液桶和所述纯水源输出端均与所述粗抛混合桶输入端连通。

3.根据权利要求2所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，在所述粗抛液混合桶内设有循环泵，当所述纯水源配置完毕后开始滴定所述粗抛原液桶内的原液时，所述循环泵同步开始工作并持续保持工作状态。

4.根据权利要求3所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，在所述粗抛液缓冲桶和所述抛光机之间设有加热器和温度传感器，所述加热器温度为22-26℃。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，在所述粗抛混合桶、所述粗抛液缓冲桶和所述粗抛液回收桶内均设有液位传感器；在所述粗抛混合桶、所述粗抛液缓冲桶、所述粗抛液回收桶、所述KOH原液桶、所述粗抛原液桶的输出端均设有单向定量供给泵和控制阀。

6.根据权利要求5所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，在所述粗抛液回收桶内还设有过滤装置，所述过滤装置位于所述粗抛液回收桶的上端部。

7.根据权利要求6所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，还包括精抛单元和表面活性单元，所述精抛单元与所述抛光机连通，用于混合配置精抛液并将所述精抛液输送至抛光机中使用；所述表面活性单元与所述抛光机连通，用于混合配置表面活性剂并将所述表面活性剂输送至抛光机中使用。

8.一种抛光液回收装置控制方法，其特征在于，采用如权利要求1-7任一项所述的回收装置，包括依次将所述纯水源、所述粗抛原液桶和所述KOH原液桶输入至所述粗抛液混合桶混合配置所述粗抛液，并保证纯水源、粗抛原液和KOH原液的体积比为：(15-30):1：(0.1-0.9)；所述粗抛液依次流经所述粗抛液缓冲桶和所述加热器后进入所述抛光机中使用。

9.根据权利要求8所述的一种抛光液回收装置控制方法，其特征在于，从所述抛光机流出的废的所述粗抛液汇入至所述粗抛液回收桶内，经所述过滤装置过滤后粗抛液进入所述PH检测仪内进行PH检测，PH合格的粗抛液直接流入所述粗抛液混合桶内。

10.根据权利要求9所述的一种抛光液回收装置控制方法，其特征在于，PH不合格的粗抛液汇入所述粗抛液中转桶中，再与所述KOH原液桶内的所述KOH原液混合，并使混合后的所述粗抛液PH为10.5-11.5，再流入所述粗抛液混合桶内。