[发明专利]双面部分随机纳米氧化铝孔吸波器件

权利要求书

1.一种实现可见光波段高效吸波的双面部分随机纳米氧化铝孔吸波器件，该吸波器件为纳米氧化铝孔随机阵列-铝金属层-纳米氧化铝孔随机阵列的三层双面纳米氧化铝孔结构，纳米氧化铝孔基本以六角形排布，但孔的尺寸以及相邻孔的中心距离具有一定的随机变化，纳米孔半径呈正态分布，半径期望为μ_r，标准差为σ_r，相邻纳米孔的中心距离呈正态分布，中心距离期望为μ_a，标准差为σ_a，纳米孔层厚度为d₁，铝金属层厚度为d₂。

2.根据权利要求1所述的双面部分随机纳米氧化铝孔吸波器件，其特征在于其双面纳米氧化铝孔结构可实现高反射损耗、低反射效率、极低透射效率的可见光波段高效吸波。

3.根据权利要求1或2所述的双面部分随机纳米氧化铝孔吸波器件，其特征在于该器件可通过二次氧化法实现大规模制备，先对高纯度的铝进行退火，再进行电化学抛光，之后将已经抛光的铝放进盛有酸的电化学池中，在一定的溶液条件下选择适当的电压和温度，进行第一次阳极氧化，形成不规则但底部为规则六边形分布的多孔氧化铝，接下来移除形成的多孔氧化层，在铝基底上留下规则的刻蚀结构，进行第二次阳极氧化，形成规则的多孔氧化铝，改变溶液种类、浓度、温度、外加电压强度可实现对随机参数的调控。