[发明专利]一种真空实验系统及实现方法在审

专利信息
申请号: 201910831734.7 申请日: 2019-09-04
公开(公告)号: CN110508333A 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 郭东亮;梁学锋;涂云宏;张东伟;支佳运;李壮;冯小磊;马世伟;朱丹丹 申请(专利权)人: 北京国科环宇科技股份有限公司
主分类号: B01L1/02 分类号: B01L1/02
代理公司: 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 代理人: 牛峥;王丽琴<国际申请>=<国际公布>=
地址: 100190 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 实验腔体 真空单元 真空实验 高真空环境 真空环境 抽真空方式 气体出口 外部环境 分子泵 机械泵
【权利要求书】:

1.一种真空实验系统,其特征在于,包括:所述系统包括实验腔体(101)与真空单元(102),实验腔体(101)通过气体出口与真空单元(102)连接,其中,真空单元(102)包括:

机械泵(1021)、第一电子阀(1022)、过滤器(1023)及分子泵(1024)串联后,接入气体出口;

在对实验腔体(101)形成一级真空时,打开第一电子阀(1022),启动机械泵(1021),实验腔体(101)中的空气分子在机械泵(1021)的作用下,通过气体出口及分子泵(1024),经过过滤器(1023)的过滤后,通过第一电子阀(1022)被抽取到机械泵(1021)中,直到实验腔体(101)达到分子泵(1024)的启动压力后,启动分子泵(1024),继续抽取实验腔体(101)中的空气分子。

2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述实验腔体(101)还接入真空计单元(1011),对实验腔体(101)的真空环境进行监测得到真空值,并显示。

3.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述实验腔体(101)还接入压力计单元(1012),对实验腔体(101)进行压力监测得到压力值,并显示。

4.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述真空实验系统应用在卫星平台中。

5.如权利要求1所述的系统,其特征在于,还包括:气体储存与供应单元(103)及气体回收与复用单元(104),其中,

气体储存与供应单元(103)通过气体入口连接到实验腔体(101)中,通过气体入口将气体输入到实验腔体(101)中,直到实验腔体(101)的压力达到设定值;

气体回收与复用单元(104)的一端接入真空单元(102)远离实验腔体(101)的一端,另一端接到气体储存与供应单元(103),在实验腔体(101)的实验完成后,途经真空单元(102)回收实验腔体(101)的气体,输入到气体储存与供应单元(103)中储存。

6.如权利要求5所述的系统,其特征在于,所述气体储存与供应单元(103)由充气单向阀(1036)、储气瓶(1031)、第一截止阀(1032)、减压阀(1033)、第二截止阀(1034)、及第一电磁阀(1035)串联组成,其中,

在为实验腔体(101)加压时,关闭充气单向阀(1036),依次打开第一截止阀(1032)、减压阀(1033)、第二截止阀(1034)、及第一电磁阀(1035),使得储气瓶(1031)中的气体通过气体入口输入到实验腔体(101)中,直到实验腔体(101)的压力达到设定值,依次关闭第一截止阀(1032)、减压阀(1033)、第二截止阀(1034)、及第一电磁阀(1035);

在排出实验腔体(101)的气体时,开启充气单向阀(1036),依次关闭第一截止阀(1032)、减压阀(1033)、第二截止阀(1034)、及第一电磁阀(1035),将气体回收与复用单元(104)从实验腔体(101)途经真空单元(102)回收的气体通过充气单向阀(1036)输入到储气瓶(1031)中。

7.如权利要求5所述的系统,其特征在于,所述气体回收与复用单元(104)由升压泵(1041)、稳压瓶(1042)、及第二电子阀(1043)串联组成,其中,

在排出实验腔体(101)的气体时,打开第二电子阀(1043),启动升压泵(1041),空气腔体(101)回收的气体通过气体出口,途经真空单元(102)后依次经过稳压瓶(1042)和升压泵(1041)后,传输到气体储存与供应单元(103)中;

在为实验腔体(101)加压时,关闭第二电子阀(1043)。

8.一种真空实验实现方法,其特征在于,包括:

设置实验腔体和真空单元,实验腔体的气体出口连接真空单元;

对实验腔体形成一级真空时,在真空单元设置的机械泵作用下,实验腔体中的空气分子被持续从气体出口排出,直到实验腔体的压力达到真空单元设置的分子泵启动压力;

真空单元开启压力泵,继续抽取实验腔体的空气分子,为实验腔体实现高真空环境。

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