[发明专利]一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法

权利要求书

1.一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)氧化铝粉料表面改性：将含量99.9％的氧化铝粉末加入含5wt％有机酸的乙醇溶液中，氧化铝粉末与乙醇溶液的重量比为1：20～40，在70～80℃下搅拌30～60min，冷却至40℃后过滤并用正己烷洗涤，干燥后制得改性氧化铝粉料；

(2)浆料的制备：将改性氧化铝粉料、烧结助剂、溶剂、分散剂加入球磨机中球磨8～12h，然后再加入聚乙烯醇缩丁醛、聚乙二醇、成膜助剂继续球磨5～8h，最后加入除泡剂进行真空搅拌25～35min，制得流动性良好且稳定的浆料；

(3)流延成型：将步骤(2)制得的浆料送入流延机，浆料在流延机输送带上形成薄层的生坯带并经过烘干室烘干；

(4)冲压：将步骤(3)所得的生坯带放入冲片机上进行冲压，得到所需形状及尺寸的生坯片；

(5)排胶：将生坯片放入排胶炉中，在氮气气氛下进行第一次排胶，以0.8～2℃/min升温速率升温至450～550℃，保温35～60min，然后在空气气氛下进行第二次排胶，以2～5℃/min升温速率升温至180～250℃，保温80～120min；

(6)烧结：将步骤(5)排胶后的生坯片置于烧结炉中烧结12～20h，烧结温度为1550～1600℃，升温速率6～8℃/min，烧结过程在氮气或惰性气体气氛下进行。

2.根据权利要求1所述的一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：所述烧结助剂为稀土氧化物、稀土氯化物中的任意一种或两者以任意比混合，烧结助剂用量为改性氧化铝粉料的1～3％。

3.根据权利要求1所述的一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：所述溶剂为异丙醇与乙酸乙酯按重量比2：1配制的混合溶液，溶剂的用量为改性氧化铝粉料的150～250％。

4.根据权利要求1所述的一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：所述分散剂为磷酸酯、聚丙烯酸钠中的任意一种，分散剂的用量为改性氧化铝粉料的4～6％。

5.根据权利要求1所述的一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：所述改性氧化铝粉料、聚乙烯醇缩丁醛、聚乙二醇、成膜助剂、除泡剂的重量比为1：0.1～0.2：0.06～0.09：0.01～0.03：0.008～0.015。

6.根据权利要求1-5任一权利要求所述的一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中改性氧化铝粉料可以使用硅烷偶联剂对其表面接枝改性制得。

7.根据权利要求6所述的一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：所述改性氧化铝粉料的制备步骤为：将氧化铝粉末加入75％的异丙醇水溶液中，氧化铝粉末与异丙醇水溶液的重量比为1：30～50，超声分散25～35min，然后加入用量为氧化铝粉末1.5～3％的硅烷偶联剂，在60～75℃加热搅拌反应1～2h，反应结束后过滤，无水异丙醇洗涤2～3次，除去未与氧化铝表面接枝的偶联剂，真空干燥后制得改性氧化铝粉料。

8.根据权利要求7所述的一种超薄氧化铝陶瓷基片的制备方法，其特征在于：所述改性氧化铝粉料的制备过程中，加入柠檬酸调节体系的pH值至3.8～5。