[发明专利]一种控制热场温度工艺在审
| 申请号： | 201910833770.7 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110438561A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 赵国伟;王建平;周泽;王鑫;皇甫亚楠;杨志;刘学;吴树飞;刘振宇;郭志荣;王林;徐强 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热场 温度工艺 单晶拉制 单晶生长 温度一致 一套参数 直拉单晶 拉制 单晶 拉晶 坩埚 全程 保证 | ||
1.一种控制热场温度工艺，其特征在于：在直拉单晶过程中，根据坩埚内剩料的重量进行热场温度的调节，以使得单晶生长保持一致性。
2.根据权利要求1所述的控制热场温度工艺，其特征在于：所述根据坩埚内的剩料的重量进行热场温度的调节具体为：
根据单晶的重量进行坩埚内剩料的重量的计算；
根据剩料的重量进行加热器功率的预置。
3.根据权利要求2所述的控制热场温度工艺，其特征在于：在进行坩埚内剩料的重量的计算同时，检测单晶的直径的波动趋势，进行加热器功率的设置。
4.根据权利要求1-3任一项所述的控制热场温度工艺，其特征在于：所述坩埚内剩料的重量与所述加热器的功率的关系为：
所述坩埚内的重量由投料量减少至所述投料量的一半时，所述加热器的功率降低；
所述坩埚内的剩料的重量由所述投料量的一半减少至最少量时，所述加热器的功率升高。
5.根据权利要求4所述的控制热场温度工艺，其特征在于：所述坩埚内的剩料的重量由投料量减少至所述投料量的一半的过程中，所述坩埚内剩料的重量由投料量减少至等径开始的重量时，加热器的功率保持不变；以及
所述坩埚内的剩料由等径开始的重量减少至所述投料量的一半的过程中，所述加热器的功率降低。
6.根据权利要求5所述的控制热场温度工艺，其特征在于：所述加热器的功率的增加幅值不小于所述加热器的功率的降低幅值。
7.根据权利要求6所述的控制热场温度工艺，其特征在于：所述加热器的功率的增加幅值为1-3kw。
8.根据权利要求7所述的控制热场温度工艺，其特征在于：所述加热器的功率的降低幅值为0.5-3.5kw。
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