[发明专利]离子源放电室导气结构以及离子源

权利要求书

1.一种离子源，其特征在于，包括：

离子源壳体；

设置于所述离子源壳体内部的放电室；所述放电室上设有离子拔出电极组件；

设置于所述离子源壳体内部的射频天线；

用于从所述离子源壳体外部向所述放电室内导入气体的导气结构；所述导气结构包括：用于输入气体的进气组件、气体分配组件、第一输气管路和第二输气管路；所述气体分配组件将进气组件输入的气体分配成进入所述第一输气管路的一部分以及进入所述第二输气管路的一部分；所述第一输气管路和所述第二输气管路通入所述放电室的不同区域。

2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述第一输气管路用于通入所述放电室的底部；所述第二输气管路用于通入所述放电室的侧部。

3.如权利要求2所述的离子源，其特征在于，所述放电室包括筒状侧壁、位于筒状侧壁一端的底壁；所述离子拔出电极组件位于所述筒状侧壁的另一端；

所述第一输气管路连接所述底壁通入所述放电室的底部；所述第二输气管路连接所述筒状侧壁通入所述放电室的侧部。

4.如权利要求3所述的离子源，其特征在于，所述放电室的外壁上设有环形凸起，以被支撑于所述离子源壳体内；

所述第二输气管路通入所述筒状侧壁的位置位于所述环形凸起远离所述离子拔出电极组件的一侧。

5.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，多个所述第二输气管路沿周向均匀分布于所述放电室的周围。

6.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述第一输气管路内设有气流阻尼结构；所述气流阻尼结构将所述第一输气管路内部的过流面积降低。

7.如权利要求6所述的离子源，其特征在于，所述第一输气管路包括第一连接管、底部导入管；所述第一连接管将所述底部连接管和所述气体分配组件相连通；所述底部导入管穿过所述放电室的底壁通入所述放电室的底部；

所述气流阻尼结构包括位于所述第一连接管中的阻尼杆；所述阻尼杆和所述第一连接管之间设有过流间隙。

8.如权利要求7所述的离子源，其特征在于，所述底部导入管位于所述放电室内的一端设有多个沿周向均匀分布的出气孔；所述出气孔的出气方向与所述底壁平行。

9.如权利要求7所述的离子源，其特征在于，所述底部导入管位于所述放电室外部的一端插入到所述第一连接管中，该端的端面形成对所述阻尼杆的第一限位台阶；所述阻尼杆面对所述底部导入管的端部设有与所述过流间隙相通的第一过流凹槽。

10.如权利要求7所述的离子源，其特征在于，所述底部导入管的外壁上设有环形凸台；所述环形凸台与所述第一连接管的端部相接触限位。

11.如权利要求7所述的离子源，其特征在于，所述第一连接管为氧化铝材质；所述阻尼杆为氧化铝材质；所述底部导入管为钨材质。

12.如权利要求9所述的离子源，其特征在于，所述气体分配组件包括本体；所述本体上设有将其贯通的气流通道；所述气流通道在所述本体的一端形成进气口、在所述本体的另一端形成第一出气口；所述第一输气管路与所述第一出气口相连通；所述进气口与所述进气组件相连通；

所述本体的侧壁设有多个与所述气流通道相连通的第二出气口；多个所述第二出气口与多个所述第二输气管路一一对应连通。

13.如权利要求12所述的离子源，其特征在于，多个所述第二出气口沿周向均匀分布于所述本体的侧壁上。