[发明专利]基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器在审
申请号: | 201910838907.8 | 申请日: | 2019-09-05 |
公开(公告)号: | CN110531463A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 肖功利;杨寓婷;杨宏艳;张开富;窦碗滢;杨秀华;李海鸥;傅涛;李琦;刘兴鹏 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | G02B6/126 | 分类号: | G02B6/126;G02B6/122 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 缓冲层 滤波器 可见光谱 波导层 覆盖 等离子体 高分辨率彩色 集成光学器件 偏振相关特性 彩色滤波器 光电子领域 集成光电路 金属纳米盘 交叉排布 纳米金属 阵列结构 金属盘 纳米盘 刻蚀 偏振 应用 | ||
1.基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器,包括波导层1,波导层1上覆盖有缓冲层2,在缓冲层2上刻蚀有纳米金属盘3,4阵列,金属盘3和4分别组成的行,会进行交叉排布。波导层1选择材料为Si3N4其厚度H1固定为100nm,缓冲层2的材料选择MgF2,其厚度为H2固定为25nm,纳米金属盘3,4材料选择为Al,其厚度H3固定为20nm,纳米金属盘3的直径为D1,纳米金属盘4的直径为D2,D1与D2之间的关系固定为2*D2=D1,纳米金属盘3,4圆心之间的距离为P,为所设计滤波器的周期,金属盘3的直径D1与周期P的关系固定为D1/P=0.6。
2.根据权利要求1所述的基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器,其特征在于:所述波导层1上覆盖有缓冲层2;缓冲层2上刻蚀有纳米金属盘3,4阵列。
3.根据权利要求1所述的基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器,其特征在于:金属盘阵列是由金属盘3和4分别组成的行,进行交叉排布而成。
4.根据权利要求1所述的基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器,其特征在于:波导层1选择材料为Si3N4,缓冲层2的材料选MgF2,纳米金属盘3,4材料选择为Al。
5.根据权利要求1所述的基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器,其特征在于:波导层1厚度H1固定为100nm,缓冲层2厚度H2固定为25nm,纳米盘3,4厚度H3固定为20nm。
6.根据权利要求1所述的基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器,其特征在于:纳米金属盘3的直径D1与纳米金属盘4的直径D2之间的关系固定为2*D2=D1。
7.根据权利要求1所述的基于铝纳米盘阵列结构偏振相关的等离子体彩色滤波器,其特征在于:纳米金属盘3的直径D1与周期P之间的关系固定为D1/P=0.6。
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