[发明专利]剥离层状结构的方法与设备以及修复有机发光装置的方法有效

专利信息
申请号: 201910840870.2 申请日: 2019-09-05
公开(公告)号: CN111195770B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 许俊圭;金承焕;李政玹 申请(专利权)人: AP系统股份有限公司
主分类号: B23K26/0622 分类号: B23K26/0622;B23K26/36;B23K26/70;H01L51/56
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨贝贝;臧建明
地址: 韩国京畿道华城市*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 剥离 层状 结构 方法 设备 以及 修复 有机 发光 装置
【说明书】:

本发明提供一种剥离层状结构的方法与设备以及修复有机发光装置的方法。根据示范性实施例的剥离层状结构的方法包含:提供包括具有第一层的第一单元结构和具有第二层的第二单元结构的层状结构,第二层具有不同于第一层的热膨胀系数;通过在至少一部分区域处发射激光将热能传输到层状结构的表面的至少一部分区域;以及通过因热能所致的第一单元结构与第二单元结构的热膨胀之间的差异从第一单元结构剥离第二单元结构的至少部分。

技术领域

本公开涉及一种剥离层状结构的方法、修复有机发光装置(organic light-emitting device;OLED)的方法以及用于剥离层状结构的设备。更确切地说,本公开涉及一种剥离层状结构的方法、修复OLED的方法以及用于剥离层状结构的设备,通过在层状结构的表面处发射激光来剥离层状结构的部分。

背景技术

在各种领域(如液晶显示器(liquid crystal display;LCD)、有机发光二极管(organic light-emitting diode;OLED)、等离子显示面板(plasmadisplaypanel;PDP)、发光二极管(light-emitting diode;LED)、半导体以及二次电池组电极)中利用由多个层构成的层状结构已制成许多产品,且开发相关技术。层状结构基本上用于各种领域。然而,粒子或外来物质在层状结构的制造中出现于构成包括多个层的层状结构的层合物之间,使得缺陷会在所制造层状结构中出现。此外,可能需要在制造产品的过程期间剥离层合物。使用物理或化学法的层合物的剥离影响层合物的周边,且缺陷由此出现于其中。当由外来物质或类似物导致的缺陷出现时,在现有技术中,直接破坏外来物质,或舍弃缺陷性层合物结构。

举例来说,由于有机发光装置具有外部湿气或氧气所致的劣化的特征,OLED需要通过使用薄膜包封层或类似物来密封以保护OLED免于外部湿气或氧气。然而,随着用于制造形成有机发光装置基座的面板的玻璃的大小近来增大,在所述过程期间出现因粒子或热变形所致的缺陷性面板的机率正增大。在沉积用于防止湿气渗透过有机发光装置的薄膜包封层的过程中形成的粒子导致针孔,且当湿气从其穿过时,导致薄膜包封层的提升(或隆起)。当在后处理的转移或激光剥离(laserlift-off;LLO)过程期间所述提升导致破坏薄膜包封层时,破坏的薄膜包封层的残余物附着到相邻正常单元,且缺陷由此出现于其中。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1:韩国专利公开案第10-2013-0134467号

发明内容

本公开提供剥离层状结构的方法和设备,所述方法和设备在层状结构的表面处发射激光以引起热膨胀之间的差异,进而剥离层状结构的部分。

本公开还提供修复有机发光装置(OLED)的方法,所述方法在OLED结构的表面处发射激光以引起热膨胀之间的差异,进而从OLED结构剥离具有缺陷的薄膜包封层。

根据示范性实施例,剥离层状结构的方法包含:提供包括具有第一层的第一单元结构和具有第二层的第二单元结构的层状结构,第二层具有不同于第一层的热膨胀系数;通过在至少一部分区域处发射激光将热能传输到层状结构的表面的至少一部分区域;以及通过因热能所致的第一单元结构与第二单元结构的热膨胀之间的差异从第一单元结构剥离第二单元结构的至少部分。

方法可进一步包含通过沿至少一部分区域的边缘发射激光来确定剥离区。

方法可进一步包含改变在剥离区的确定或热能的传输中所用的激光的累积能量。

在剥离区的确定中所用的激光的累积能量可高于在热能的传输中所用的激光的累积能量。

累积能量的改变可包含:调整在层状结构的表面处发射的激光的能量密度;和/或调整在层状结构的表面处发射的激光的发射重叠率。

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