[发明专利]传输变向装置、系统和方法

说明书

本发明涉及一种传输变向装置、系统和方法，所述装置包括：传输变向部件，用于在接收到控制器发出的控制信号后开始或停止旋转；检测装置，用于检测所述传输变向部件的位置信息以生成位置信号；控制器，用于基于所述位置信号控制所述传输变向部件停止旋转。本申请由于在传输变向部件上设置有可以检测其旋转角度的检测装置，控制器根据检测装置检测获取的传输变向部件的位置信号来控制传输变向部件旋转的角度，进而可以控制传输变向部件传输物件的转向。

技术领域

本发明涉及物件传输技术领域，特别是涉及一种传输变向装置、系统和方法。

背景技术

随着半导体技术的日益发展及市场对半导体产品需求量的增加，现今半导体厂为了提高产能，增加了生产设备数量的同时，提高了生产设备工作流程的复杂度。因而，厂内机台设备配置分区数量渐大，各区之间透过自动搬运系统(Automatic handling system，AMHS)的搬送效率已经成为提高生产效能的重要影响因素之一。

传统的半导体设备生产厂内，将不同生产设备分区设置，各区之间的轨道设计多为单向传输设备搭配U型变向台的形式，通过台车行走于各区之间。根据前期的搬送计划模拟结果来确认变向台的摆放数量与摆放位置。

然而U型变向台因摆放位置受到自身结构以及厂内控制设备的限制无法密集的设置，导致尽管是需要运输至对面的短距离搬送，台车仍需绕行一大段距离，搬运效率低下。且需要按序行进，如果前面的台车停止运行，则后面排队的台车也需要进行等待，导致时间过长，降低效率。另外，在半导体生产工艺流程更新较快的前提下，生产设备替换频繁，导致初期的搬运计划模拟结果无法适用于更新后的生产工艺流程，如要改善仅能透过轨道改造方式进行，而改造期间又大大影响生产效能，因此往往沿用最初设计，让搬运效率越来越差。

发明内容

基于此，有必要针对上述背景技术中绕行搬运距离长、效率低且不能适应生产设备更换需求的问题，提供一种具备自动变向功能的传输变向装置、系统和方法。

本申请的一方面提供一种传输变向装置，包括：

传输变向部件，用于在接收到控制器发出的控制信号后开始或停止旋转；

检测装置，用于检测所述传输变向部件的位置信息以生成位置信号；

控制器，用于基于所述位置信号控制所述传输变向部件停止旋转。

上述传输变向装置，由于在传输变向部件上设置有检测其旋转角度的检测装置，控制器根据检测装置检测获取的传输变向部件的位置信号来控制传输变向部件旋转的角度，进而可以控制传输变向部件传输物件的转向。

在其中一个实施例中，所述传输变向部件设有定位器；

所述检测装置包括用于检测所述定位器的位置信号的定位传感器。

在其中一个实施例中，所述定位传感器设有定位孔；

所述定位器包括弹性部和定位端子，所述定位端子通过所述弹性部与所述传输变向部件连接；

其中，当所述定位端子随变向部件旋转进入所述定位孔内时，所述定位传感器发送所述位置信号给所述控制器。

在其中一个实施例中，所述定位传感器为遮断式传感器，包括信号发射端和信号接收端，所述定位孔位于所述信号发射端与所述信号接收端之间。

在其中一个实施例中，所述检测装置还包括：

传输件检测传感器，用于检测放置到所述传输变向部件上的传输件，并发送变向触发信号给所述控制器，所述控制器基于所述变向触发信号控制所述传输变向部件开始旋转。

在其中一个实施例中，所述定位传感器包括信号发射端和信号接收端，所述信号接收端与所述控制器连接，所述定位孔位于所述信号发射端与所述信号接收端之间。