[发明专利]一种镀膜治具在审
申请号: | 201910843625.7 | 申请日: | 2019-09-06 |
公开(公告)号: | CN110423993A | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 蒯泽文 | 申请(专利权)人: | 浙江舜宇光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人: | 陆鑫;延慧 |
地址: | 315400 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 公转支架 工件盘 镀膜治具 自转系统 转轴 翻转系统 公转系统 保护板 固定座 中轴 转动 镀膜效果 镀膜效率 转轴转动 翻转 支承 驱动 | ||
本发明涉及一种镀膜治具,包括公转系统、自转系统和翻转系统,所述公转系统包括公转支架、位于所述公转支架中心位置且与所述公转支架相连接的公转中轴和支承在所述公转支架上的保护板;所述自转系统固定在所述保护板上,包括固定座、连接在所述固定座上的转轴和连接在所述转轴上可随所述转轴转动的工件盘;所述公转中轴带动所述自转系统转动,同时所述转轴带动所述工件盘转动;所述翻转系统与所述工件盘相连接,用于驱动所述工件盘翻转180°。本发明的镀膜治具,可以有效改善镀膜效果,同时可以提升镀膜效率。
技术领域
本发明涉及光学镀膜技术领域,尤其涉及一种镀膜治具。
背景技术
随着光学行业的发展,越来越多的种类的产品需要进行镀膜以获取特定的光学性能。对于光学镜片的镀膜,工业上通常采用真空镀膜设备进行蒸发镀膜以完成基片表面沉积膜层。
真空镀膜设备一般为大型机腔,通常采用的大型镀膜治具为伞型。镀膜产品需要使用治具进行装载,放在镀膜机扇形板上进行镀膜。真空镀膜膜料蒸发分子沿直线运动,不同曲率的镜片、非球面镜片和不同区域由于蒸发入射的角度不一致,导致镜片中心与边缘膜厚分布差异大,并且球形镜片边缘四个方向膜厚差异特别大。从而镀膜效果差,镜片的光学性能不佳。此外,现有的镀膜治具,再镀制完镜片一个表面之后,有的还需要将镜片取下翻转之后再镀制另一面,操作繁琐,效率低下。
发明内容
本发明的目的在于提供一种镀膜效果好、效率高的镀膜治具。
为实现上述发明目的,本发明提供一种镀膜治具,包括:公转系统、自转系统和翻转系统,所述公转系统包括公转支架、位于所述公转支架中心位置且与所述公转支架相连接的公转中轴和支承在所述公转支架上的保护板;
所述自转系统固定在所述保护板上,包括固定座、连接在所述固定座上的转轴和连接在所述转轴上可随所述转轴转动的工件盘;
所述公转中轴带动所述自转系统转动,同时所述转轴带动所述工件盘转动;
所述翻转系统与所述工件盘相连接,用于驱动所述工件盘翻转180°。
根据本发明的一个方面,所述保护板包括依次连接固定的多个组件板,所述组件板的数量为M,M≥6。
根据本发明的一个方面,所述自转系统设置有多个,多个所述自转系统沿所述保护板周向等间隔排布。
根据本发明的一个方面,所述自转系统的设置数量为N,N≥3。
根据本发明的一个方面,所述工件盘为圆盘结构,包括多个依次连接的扇形基板,每个所述扇形基板连接有一个翻转系统;
所述转轴连接在所述工件盘的中心位置。
根据本发明的一个方面,所述扇形基板的数量为X,X≥3。
根据本发明的一个方面,所述扇形基板上设有镜片装夹区,所述扇形基板上设有镜片装夹区的数量为Y,2≤Y≤10。
根据本发明的一个方面,所述转轴固定连接在所述工件盘的外侧切点位置,所述工件盘为一体成型结构,所述工件盘上设有镜片装夹区。
根据本发明的一个方面,所述镜片装夹区的形状为圆形、矩形或方形。
根据本发明的一个方面,所述公转中轴转动时通过磁感应方式带动所述转轴旋转。
根据本发明的一个方面,所述翻转系统为旋转气缸机构、齿轮驱动机构或者连杆驱动机构。
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