[发明专利]温度控制系统和温度控制方法

权利要求书

1.一种温度控制系统，其特征在于，包括：

使载热体在形成于部件的流路中循环的第一泵；

排出载热体的第二泵；

温度调节单元；

第一流路，其将形成于所述部件的流路的一侧与所述温度调节单元的一侧以载热体能够流通的方式连接；

第二流路，其将形成于所述部件的流路的另一侧与所述温度调节单元的另一侧以载热体能够流通的方式连接；

设置于所述第一流路的第一阀；

设置于所述第二流路的第二阀；

第一旁通流路，其在比所述第一阀和所述第二阀靠所述温度调节单元侧，旁通所述第一流路和所述第二流路；

第二旁通流路，其在比所述第一阀和所述第二阀靠形成于所述部件的流路侧，旁通所述第一流路和所述第二流路；

设置于所述第一旁通流路的第三阀；和

设置于所述第二旁通流路的第四阀，

所述第一阀和所述第二阀的组以及所述第三阀和所述第四阀的组中至少一组为能够调节流量的调节阀。

2.如权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于：

所述组中一组是所述调节阀，另一组是开闭阀。

3.如权利要求1或2所述的温度控制系统，其特征在于：

所述第一泵配置在比所述第一流路与所述第二旁通流路的连接部靠形成于所述部件的流路侧的所述第一流路。

4.如权利要求1至3中任一项所述的温度控制系统，其特征在于：

所述第一泵配置在比所述第二流路与所述第二旁通流路的连接部靠形成于所述部件的流路侧的所述第二流路。

5.如权利要求1至4中任一项所述的温度控制系统，其特征在于：

包括控制部，该控制部调节所述第一阀、所述第二阀、所述第三阀、所述第四阀，并且控制：

第一步骤，其使由所述温度调节单元进行了温度调节的载热体在所述第一旁通流路中循环，并且使在形成于所述部件的流路中流通的载热体在所述第二旁通流路中循环；和

第二步骤，其将由所述温度调节单元进行了温度调节的载热体的一部分供给到形成于所述部件的流路，使在形成于所述部件的流路中流通的载热体的一部分循环。

6.如权利要求5所述的温度控制系统，其特征在于：

所述控制部在所述第一步骤中将所述第一阀和所述第二阀闭阀，控制所述第三阀和所述第四阀的开阀或者开度。

7.如权利要求5或6所述的温度控制系统，其特征在于：

所述控制部在所述第二步骤中控制所述第一阀至所述第四阀的开阀或者开度。

8.如权利要求5至7中任一项所述的温度控制系统，其特征在于：

所述控制部控制第三步骤，所述第三步骤将由所述温度调节单元进行了温度调节的载热体供给到形成于所述部件的流路，

在所述第三步骤中，控制所述第一阀和所述第二阀的开阀或者开度，将所述第三阀和所述第四阀闭阀。

9.如权利要求5至8中任一项所述的温度控制系统，其特征在于：

在比所述第二旁通流路靠形成于所述部件的流路侧的所述第一流路或所述第二流路设置温度传感器，

所述控制部基于所述温度传感器检测到的温度，控制所述第一阀和所述第二阀的组以及所述第三阀和所述第四阀的组中至少一组阀的开闭或者开度。

10.如权利要求5至9中任一项所述的温度控制系统，其特征在于：

在比所述第二旁通流路靠形成于所述部件的流路侧的所述第一流路或所述第二流路设置流量传感器，

所述控制部基于所述流量传感器检测到的流量，控制所述第一阀和所述第二阀的组以及所述第三阀和所述第四阀的组中至少一组阀的开闭或者开度。

11.如权利要求1至10中任一项所述的温度控制系统，其特征在于：

所述部件由在处理容器内生成的等离子体和配置于所述部件的加热部的至少任意者加热。