[发明专利]用于检测填充水平的设备有效

专利信息
申请号: 201910849930.7 申请日: 2015-08-27
公开(公告)号: CN110567554B 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 太田垣贵康;石川和义 申请(专利权)人: 半导体元件工业有限责任公司
主分类号: G01F23/26 分类号: G01F23/26
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 张小稳
地址: 美国亚*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 检测 填充 水平 设备
【权利要求书】:

1.一种用于检测填充水平的设备,包括:

具有腔体的容器;

传感器,所述传感器被定位在所述容器处、所述腔体的外部,以电容地感测所述腔体中的流体相对于所述传感器的填充水平;以及

振动电机,使得所述传感器相对于所述容器移动。

2.根据权利要求1所述的设备,其中,所述容器具有固定的位置并且所述电机移动所述传感器。

3.根据权利要求1所述的设备,其中,所述振动电机用于使所述容器振动。

4.根据权利要求1所述的设备,其中,所述传感器包括至少一个电极和耦合到所述至少一个电极的电路,所述电路响应于流体水平的变化越过阈值水平而生成检测信号。

5.根据权利要求4所述的设备,其中,所述传感器包括规则间隔开的电极的阵列,每个电极由公共驱动电极包围。

6.根据权利要求5所述的设备,其中,阵列中的每个电极选择性地耦接到可变电容器和差分放大器的输入,所述差分放大器具有耦接到参考电压的第二输入。

7.根据权利要求6所述的设备,还包括:

模数转换器,对来自所述差分放大器的输出信号数字化;以及

控制电路,在校准期间调整所述可变电容器以与选择性耦接的电极的电容匹配并且将所述可变电容器的电容值与参考值进行比较,并且迭代地执行校准和比较以相对于阵列中的每个电极检测填充水平。

8.根据权利要求6所述的设备,还包括:

模数转换器,对来自所述差分放大器的输出信号数字化;以及

控制电路,将针对阵列中的每个电极的数字化的输出信号与参考进行比较,以针对阵列中的每个电极检测填充水平。

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