[发明专利]老化板及老化装置

说明书

本发明提供一种能够实现老化板内的温度分布的均匀化的老化板及老化装置。老化板(20)具备：老化板主体(40)，其具有多个插座(30)、安装有插座(30)的上表面(41)、以及与上表面(41)相反一侧的下表面(42)；加强框(90)，其与下表面(42)接触；底盖(60)，其与加强框(90)接触；导热板(80)，其介于老化板主体(40)与底盖(60)之间；以及导热片(70)，其将老化板主体(40)与导热板(80)热连接，加强框(90)将导热板(80)朝向导热片(70)按压。

技术领域

本发明涉及老化板及老化装置。

背景技术

已知一种通过使加热或冷却后的空气在恒温室内循环而对DUT(Device UnderTest：待测设备)施加热应力的老化装置(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-025829号公报

发明内容

发明所要解决的问题

近年来，DUT的自发热、来自老化板主体或子基板的发热有增加的趋势，从而存在如下问题，即：仅是通过空气的循环，老化板内的温度分布会变得不均匀。

本发明所要解决的课题在于，提供一种能够实现老化板内的温度分布的均匀化的老化板及老化装置。

用于解决问题的手段

[1]本发明所涉及的老化板具备：多个插座；第一配线板，其具有安装有所述插座的第一主面、和与所述第一主面相反一侧的第二主面；加强构件，其与所述第二主面接触；第一板，其与所述加强构件接触；第二板，其介于所述第一配线板与所述第一板之间；以及导热体，其将所述第一配线板与所述第二板热连接，所述加强构件将所述第二板朝向所述导热体进行按压。

[2]在上述发明中，也可以构成为，所述加强构件具有：主体部；以及凸部，其从所述主体部朝向所述第一配线板突出，所述第二板具有插入有所述凸部的第一贯通孔，所述凸部与所述第一配线板接触，所述主体部与所述第二板接触。

[3]在上述发明中，也可以构成为，所述第一配线板具有安装于所述第二主面的第一连接器，所述老化板具备第二配线板，该第二配线板具有与所述第一连接器连接的第二连接器，并介于所述第二板与所述第一板之间，所述第二板具有插入有所述第一连接器和所述第二连接器中的至少一方的第二贯通孔。

[4]另外，本发明涉及一种老化板，具备：多个插座；第一配线板，其具有安装有所述插座的第一主面、和作为与所述第一主面相反一侧的面的安装有第一连接器的第二主面；加强构件，其与所述第二主面接触；第一板，其与所述加强构件接触；第二配线板，其具有与所述第一连接器的第二连接器，并介于所述第一配线板与所述第一板之间；以及导热体，其设置在所述第二配线板与所述第一板之间，将所述第二配线板与所述第一板热连接。

[5]在上述发明中，也可以构成为，所述第一板具有多个第三贯通孔。

[6]在上述发明中，也可以构成为，所述第一板中的所述第三贯通孔的密度随着从所述第一板的一端朝向另一端而增加。

[7]在上述发明中，也可以构成为，所述第一板中的每单位面积的所述第三贯通孔的数量随着从所述第一板的所述一端朝向所述另一端而增加。

[8]在上述发明中，也可以构成为，所述第一板中的多个所述第三贯通孔随着从所述第一板的所述一端朝向所述另一端而变大。

[9]在上述发明中，也可以构成为，所述第一板具有第一翅片，所述第一翅片立设于所述第三贯通孔的周缘。

[10]在上述发明中，也可以构成为，所述第一翅片相对于所述第三贯通孔配置于所述另一端侧。