[发明专利]一种热场坩埚保温装置及其使用方法

说明书

本发明公开了一种热场坩埚保温装置及其使用方法，包括炉体、顶盖、底座和安装板，所述炉体顶端连接有顶盖，所述炉体底端固定连接有底座，所述底座外侧固定连接有安装板，所述安装板上端面固定安装有气缸，所述安装板上端面还安装有丝杆，所述安装板下方分别设有移动轮、吸盘，所述气缸、丝杆分别与移动轮、吸盘连接，所述气缸、丝杆、移动轮和吸盘均设有多组，所述炉体内部具有一个收容空间，所述炉体内分别设有中轴、托盘座、坩埚本体、保温筒组、加热器和热屏，所述中轴底端穿过炉体与底座连接，所述中轴位于底座顶端中心位置。该热场坩埚保温装置及其使用方法，设计合理，使用方便，具有保温性好的优点。

技术领域

本发明属于热场坩埚技术领域，具体涉及一种热场坩埚保温装置及其使用方法。

背景技术

热场就是热系统。在机械中一般指单晶炉热场，就是单晶炉中的热系统。坩埚是化学仪器的重要组成部分，它是熔化和精炼金属液体以及固液加热、反应的容器，是保证化学反应顺利进行的基础。保温装置是制备一些半导体材料时所用的热场坩埚的重要组成部分。

目前热场坩埚都是通过外部包有石墨保温筒进行保温，但是石墨材料易于急冷急热，从而易变形开裂，且石墨材料耐高温系数低，保温效果较差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种热场坩埚保温装置及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种热场坩埚保温装置，包括炉体、顶盖、底座和安装板，所述炉体顶端连接有顶盖，所述炉体底端固定连接有底座，所述底座外侧固定连接有安装板，所述安装板上端面固定安装有气缸，所述安装板上端面还安装有丝杆，所述安装板下方分别设有移动轮、吸盘，所述气缸、丝杆分别与移动轮、吸盘连接，所述气缸、丝杆、移动轮和吸盘均设有多组，所述炉体内部具有一个收容空间，所述炉体内分别设有中轴、托盘座、坩埚本体、保温筒组、加热器和热屏，所述中轴底端穿过炉体与底座连接，所述中轴位于底座顶端中心位置，所述中轴与底座呈直角结构布置，所述中轴顶端固定连接有托盘座，所述托盘座顶端连接有坩埚本体，所述坩埚本体与炉体内壁之间分别设有保温筒组、加热器，所述保温筒组、加热器底端均与炉体底端内壁固定连接，所述炉体外侧固定套置有保温套，所述坩埚本体包括第一坩埚体、连接层、第二坩埚体和固定件，所述坩埚本体底端与安装座固定连接，所述保温筒组包括第一保温筒、第二保温筒和第三保温筒。

优选的，所述炉体、底座均为圆柱形结构，所述炉体设于底座的正上方，所述安装板为圆形板状结构，所述安装板上开设有安装孔，所述安装板固定套置在底座上，所述安装板所在平面与底座所在平面平行。

优选的，所述气缸与推杆连接，推杆顶端穿过安装板与气缸底端连接，推杆底端与移动轮固定连接，所述丝杆穿过安装板与吸盘固定连接，所述丝杆与气缸间隔设置。

优选的，所述托盘座、坩埚本体均设于加热器内，所述中轴顶端穿过加热器固定插接在托盘座底端，所述保温筒组为圆柱形中空结构，所述保温筒组套置在加热器上，所述炉体顶端内壁安装有热屏，所述热屏设于坩埚本体的正上方，且所述热屏底端位于保温筒组内。

优选的，所述第二坩埚体设于第一坩埚体内，所述第一坩埚体通过连接层与第二坩埚体固定连接，所述第一坩埚体、连接层和第二坩埚体顶端共同连接有固定件，所述固定件为圆环形结构。

优选的，所述第一保温筒套置在第二保温筒上，所述第二保温筒套置在第三保温筒上，所述第一保温筒外侧与炉体内壁固定连接，所述第二保温筒与第一保温筒、第三保温筒之间均设有间隙。

优选的，所述保温套包括第一保温层、填充层和第二保温层，所述第一保温层套置在第二保温层上，所述第一保温层通过填充层与第二保温层固定连接，所述第二保温层内侧与炉体外侧固定连接。

一种热场坩埚保温装置的使用方法，包括以下步骤：