[发明专利]一种超导量子计算芯片在审
| 申请号： | 201910852665.8 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110556477A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 邱嘉威;李剑;刘伟洋;张礼博;贾浩;刘松;俞大鹏 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02;H03H1/00;G06N10/00 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滤波器 超导量子计算 芯片 电感 电容 集总元件 滤波性能 衬底 尺寸保证 电连接 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种超导量子计算芯片，其特征在于，所述超导量子计算芯片包括衬底和设置于所述衬底上的滤波器；
所述滤波器包括至少一个电容和至少一个电感，所述至少一个电容与所述至少一个电感电连接。
2.根据权利要求1所述的超导量子计算芯片，其特征在于，所述至少一个电容的极板为金属材质的极板，所述至少一个电感的线圈为金属线圈。
3.根据权利要求2所述的超导量子计算芯片，其特征在于，所述电容的一个极板与所述电感的一端接触实现电连接。
4.根据权利要求1所述的超导量子计算芯片，其特征在于，所述至少一个电容和所述至少一个电感在所述衬底上的垂直投影为矩形。
5.根据权利要求1所述的超导量子计算芯片，其特征在于，所述滤波器在所述衬底上的垂直投影为轴对称图形。
6.根据权利要求1所述的超导量子计算芯片，其特征在于，所述至少一个电容的极板在所述衬底的垂直投影最大尺寸、极板间距离和所述至少一个电感在所述衬底的垂直投影的最大尺寸均为几十微米到几百微米。
7.根据权利要求1所述的超导量子计算芯片，其特征在于，所述超导量子计算芯片还包括金属层，所述滤波器通过所述金属层与外部电路电连接。
8.根据权利要求7所述的超导量子计算芯片，其特征在于，所述金属层沿垂直于所述衬底方向的厚度为100μm。
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