[发明专利]一种加热器及其制备方法

权利要求书

1.一种加热器的制备方法，其特征在于，包括：

形成热解氮化硼衬底，以氮气作为载气，在温度为1600℃，真空度为133pa的反应腔中，将体积比为2.5：1的BCl₃和NH₃在石墨模具表面沉积形成厚度为1.5mm热解氮化硼基体；然后在真空下升高温度至1950℃，保温3小时，形成用作加热器衬底的所述热解氮化硼衬底；将所述热解氮化硼衬底进行表面喷砂处理，喷砂完毕的所述热解氮化硼衬底表面粗糙度为3.42μm；

在所述热解氮化硼衬底的表面沉积形成导电层，在真空度100Pa，温度1250℃，在沉积室内通入体积比为0.5：4：8的BCl₃、CH₄和N₂气体，在所述热解氮化硼衬底的表面沉积形成100μm厚度的所述导电层，形成的所述导电层是掺杂有碳化硼的热解石墨，所述碳化硼的质量为所述导电层质量的30％；掺杂有碳化硼的热解石墨的热膨胀系数为4.0×10^-6/℃，室温电阻率和900℃温度电阻率均为4.2×10^-6Ω·m；

在所述导电层表面雕刻隔离区；

在雕刻有隔离区的所述导电层表面沉积绝缘层，在真空度133pa，温度1700℃，以氮气作为载气，体积比为2.5：1的BCl₃和NH₃在所述导电层表面沉积形成厚度150μm的热解氮化硼。

2.根据权利要求1所述的加热器的制备方法，其特征在于，所述将热解氮化硼衬底进行表面喷砂处理的步骤，还包括：

控制所述热解氮化硼衬底的转速为10r/min；

采用目数120的刚玉砂对所述热解氮化硼衬底的表面喷砂处理；喷砂的压力为0.2MPa，喷砂距离为250mm。

3.根据权利要求1所述加热器的制备方法，其特征在于，

所述隔离区是通过喷砂雕刻的方式制作；或者，所述隔离区是通过机械加工方式制作。