[发明专利]一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法

权利要求书

1.一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：制作并选择待转移二维材料样品，其中待转移样品由原始基底(6)和二维材料(5)组成，通过相关二维材料的表征仪器对所制样品进行表征，选取质量优良的样品作为待转移样品；

第二步：将制作好的待转移样品置于下电极(8)之上，在上电极(1)下方贴合柔性支撑(2)；

第三步：利用喷雾器在二维材料(5)和原始基底(6)的表面形成一层均匀第一液体薄膜(3)；

第四步：通过控制上电极(1)运动，使柔性支撑(2)与二维材料(5)和原始基底(6)的上表面贴合，通过控制上电极(1)的运动距离或上电极(1)对下电极(8)的压力实现对第一液体薄膜(3)厚度的调节，形成液桥，并保持该状态1-10min；

第五步：在上电极(1)、下电极(8)之间施加外部电场，外部电场使柔性支撑(2)和原始基底(6)上表面分离，二维材料(5)转移到柔性支撑(2)上；

第六步：将原始基底(6)取下，将目标基底(7)置于下电极(8)上；利用喷雾器在目标基底(7)上形成一层均匀第二液体薄膜(4)，接着使附着有二维材料(5)的柔性支撑(2)与目标基底(7)紧密贴合，保持该状态1-10min，形成液桥；最后在上电极(1)、下电极(8)之间施加外部电场，外部电场使柔性支撑(2)和目标基底(7)分离，二维材料(5)转移到目标基底(7)上，实现了二维材料(5)从原始基底(6)到目标基底(7)的转移；

第七步：使用光学显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜仪器对转移后的样品进行表征，确定转移质量。

2.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的第一步中相关二维材料的表征仪器为光学显微镜、原子力显微镜、扫描电子显微镜和拉曼光谱仪。

3.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的第二步中上电极(1)和下电极(8)固定在具有测力功能的运动平台上，能实现上电极(1)和下电极(8)的相对运动，由高精度力学传感器所测得的力信号作为运动平台的运动控制信号。

4.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的第二步中柔性支撑(2)为柔性薄膜材料，能够实现其和各种基底间的良好贴合，厚度为50-200μm。

5.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的第二步中柔性支撑(2)采用化学性质极为稳定的聚二甲基硅氧烷(PDMS)。

6.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的第三步中第一液体薄膜(3)为易挥发液体。

7.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的第三步中第一液体薄膜(3)为乙醇或去离子水。

8.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的第五步、第六步中的外加电场为直/交流电场，由函数信号发生器和高压放大器提供；外部电场为交流电场时，波形为方波，频率为0-50Hz，幅值为100-5000V，占空比为0-70％。

9.根据权利要求1所述的一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于：所述的电辅助液桥的二维材料转移方法在超净间完成，温度为20-25℃，湿度为40-60％。